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澤攸科技 | 國產(chǎn)臺階儀和進(jìn)口臺階儀相比,各有什么優(yōu)勢?

來源:安徽澤攸科技有限公司   2025年08月15日 16:57  
 在全球精密測量設(shè)備市場中,臺階儀作為微納形貌檢測的核心工具,長期被進(jìn)口品牌主導(dǎo)。然而,隨著國產(chǎn)技術(shù)的突破,以澤攸科技為代表的國產(chǎn)臺階儀憑借“高精度、高性價比、強(qiáng)服務(wù)”等優(yōu)勢,正加速搶占市場。本文將從技術(shù)、成本、服務(wù)等維度,深度解析國產(chǎn)(以澤攸科技為例)與進(jìn)口臺階儀的核心差異,為行業(yè)用戶提供選型參考。

一、核心技術(shù):國產(chǎn)自研突破“卡脖子”,部分指標(biāo)反超進(jìn)口

臺階儀的核心競爭力在于測量精度與穩(wěn)定性,而這依賴于傳感器、掃描系統(tǒng)、力控技術(shù)等底層技術(shù)。

國產(chǎn)臺階儀(澤攸):自主創(chuàng)新,掌握核心科技

澤攸科技JS系列(如JS10C,JS100C等)搭載多項自研技術(shù),部分指標(biāo)已達(dá)到或超越進(jìn)口水平:

雙LVDT傳感器技術(shù):澤攸采用自主研發(fā)的LVDT(線性可變差動變壓器)傳感器,兼具力控與位移檢測功能。其中,LVDT傳感器1用于檢測彈簧形變量以精準(zhǔn)計算探針壓力(恒力范圍0.5~50mg),LVDT傳感器2反饋壓電陶瓷位移以確定臺階高度,雙傳感器協(xié)同工作使重復(fù)性測量偏差低至≤0.5nm(基于10μm標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次測試結(jié)果),線性度偏差僅千分之一以內(nèi)。這一技術(shù)突破了進(jìn)口設(shè)備依賴單一傳感器的技術(shù)瓶頸,大幅提升測量穩(wěn)定性。
高分辨率掃描系統(tǒng):澤攸臺階儀垂直分辨率達(dá)0.05nm滿量程(全量程),水平分辨率亞微米級,可捕捉納米級表面起伏(如晶圓氧化層粗糙度、MEMS器件曲率半徑)。相比之下,部分進(jìn)口設(shè)備的垂直分辨率多為0.1nm級,且在軟質(zhì)材料(如有機(jī)薄膜)測量中易因探針壓力波動導(dǎo)致數(shù)據(jù)偏差。
主動聚焦與雙導(dǎo)航影像:澤攸全自動型號(如JS2000B)配備正視/側(cè)視高像素彩色相機(jī),支持主動聚焦技術(shù)(對比進(jìn)口設(shè)備的“手動聚焦”更高效),可在掃描前快速定位樣品測試點,掃描中實時觀察探針與樣品接觸狀態(tài),避免因離焦或偏移導(dǎo)致的測量誤差。

進(jìn)口臺階儀:品牌積淀深厚,但技術(shù)迭代較慢

進(jìn)口品牌憑借數(shù)十年技術(shù)積累,在部分成熟場景(如傳統(tǒng)半導(dǎo)體晶圓檢測)中仍占據(jù)優(yōu)勢,但其技術(shù)迭代速度較慢。例如,多數(shù)進(jìn)口設(shè)備仍采用“杠桿式檢測方案”(通過電容傳感器反饋位移/線圈補(bǔ)償力),而澤攸已普及“直動式檢測方案”(探針LVDT反饋力+微動臺控力),后者在重復(fù)性(≤0.5nm vs 進(jìn)口0.6~1nm)和長期穩(wěn)定性上更具優(yōu)勢。

二、成本與服務(wù):國產(chǎn)臺階儀“降本增效”,本土化優(yōu)勢顯著

除技術(shù)外,成本與服務(wù)是企業(yè)選型的關(guān)鍵考量。

國產(chǎn)臺階儀(澤攸):高性價比,全周期服務(wù)降低門檻

價格優(yōu)勢明顯:澤攸JS系列臺階儀(如JS2000C全自動型號)價格僅為同規(guī)格進(jìn)口設(shè)備的60%~70%,半自動/手動型號(如JS100C、JS10C)價格優(yōu)勢更顯著(約為進(jìn)口的50%)。對于預(yù)算有限的中小企業(yè)或科研機(jī)構(gòu),這一成本差異可直接轉(zhuǎn)化為研發(fā)投入的增加。
服務(wù)響應(yīng)更快:澤攸提供“24小時技術(shù)響應(yīng)+免費上門培訓(xùn)”服務(wù),相比進(jìn)口設(shè)備普遍“48小時響應(yīng)+需第三方支持”的模式,能更快解決設(shè)備故障或操作問題。例如,某半導(dǎo)體廠商反饋,其使用的進(jìn)口臺階儀曾因探針卡滯停機(jī)3天,而澤攸設(shè)備同類問題可在2小時內(nèi)遠(yuǎn)程解決。
靈活的試用與升級方案:澤攸支持“租賃試用”(降低中小客戶初期投入)和“探針組件升級”(如JS系列可通過更換探針組件擴(kuò)展量程至1mm),而進(jìn)口設(shè)備升級通常需返廠改造,成本高且周期長(約1~2個月)。

進(jìn)口臺階儀:服務(wù)網(wǎng)絡(luò)完善,但本土化適配不足

進(jìn)口品牌雖在全球設(shè)有服務(wù)網(wǎng)點,但在中國市場的本地化支持仍存在短板。例如,部分進(jìn)口設(shè)備的軟件界面僅支持英文,且針對中國客戶需求的定制化功能(如太陽能薄膜、鈣鈦礦等新興材料的測量模式)開發(fā)滯后。而澤攸已針對國內(nèi)半導(dǎo)體、新能源、材料科學(xué)等領(lǐng)域推出專用測量方案(如錫基鈣鈦礦薄膜厚度測量、MEMS器件3D掃描),軟件支持中文界面與多格式數(shù)據(jù)導(dǎo)出(ASC、CSV),更貼合本土用戶習(xí)慣。

三、應(yīng)用適配:國產(chǎn)臺階儀“精準(zhǔn)覆蓋”,新興領(lǐng)域優(yōu)勢凸顯

隨著新能源(鈣鈦礦)、MEMS、生物醫(yī)療等新興領(lǐng)域的崛起,市場對臺階儀的“場景適配性”提出更高要求。

國產(chǎn)臺階儀(澤攸):定制化方案,精準(zhǔn)匹配新興需求

澤攸JS系列通過模塊化設(shè)計,可快速適配不同場景:

半導(dǎo)體制造:支持2D/3D臺階高度(20~160μm)、粗糙度(Ra 0.01~100nm)、薄膜應(yīng)力測量,兼容6寸~12寸晶圓,滿足晶圓拋光工藝(CMP)效果評估需求。
新能源材料:在錫基鈣鈦礦、準(zhǔn)二維鈣鈦礦研究中,澤攸臺階儀可精確測量35~40nm超薄薄膜厚度(如文檔4中復(fù)旦團(tuán)隊的實驗),并通過3D掃描分析表面缺陷,助力器件遷移率(>60 cm² V?¹ s?¹)提升。
MEMS與生物醫(yī)療:采用亞微米級探針(曲率半徑≤1μm),可測量微米/納米級結(jié)構(gòu)表面波紋(如MEMS陀螺儀)及人工關(guān)節(jié)微觀形貌,避免探針損傷樣品。

進(jìn)口臺階儀:傳統(tǒng)領(lǐng)域占優(yōu),但新興場景靈活性不足

進(jìn)口設(shè)備雖在傳統(tǒng)半導(dǎo)體檢測(如硅片厚度測量)中表現(xiàn)穩(wěn)定,但因硬件架構(gòu)固化(如杠桿式檢測方案),難以快速適配新興材料的特殊測量需求(如柔性鈣鈦礦薄膜的曲面掃描)。而澤攸通過“直動式檢測+主動聚焦”技術(shù),已實現(xiàn)對曲面樣品(如柔性太陽能電池)的穩(wěn)定測量。

國產(chǎn)替代加速,澤攸科技定義“中國精度”

從技術(shù)突破到服務(wù)升級,從傳統(tǒng)領(lǐng)域到新興場景,澤攸科技臺階儀以“自主創(chuàng)新”為核心,用“高性價比+強(qiáng)本土化”打破進(jìn)口壟斷。對于追求精度、效率與成本平衡的企業(yè)與科研機(jī)構(gòu)而言,澤攸科技不僅是“國產(chǎn)替代”的選擇,更是“中國智造”的可靠伙伴。

澤攸科技JS系列臺階儀

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