熱傳導真空計是一種基于氣體熱傳導特性測量真空度的相對真空計，其核心原理是利用氣體熱傳導能力隨壓力變化的規(guī)律，通過檢測熱源的溫度或能量變化間接反映被測空間的壓力。
工作原理
在一定壓力范圍內(nèi)（通常為粗真空到中真空），氣體的熱傳導能力與壓力密切相關(guān)：
當壓力較高時，氣體分子密度大，分子間碰撞頻繁，熱傳導能力強，熱源（如加熱絲）的熱量容易被氣體帶走，溫度較低；
當壓力降低時，氣體分子密度減小，熱傳導能力減弱，熱源散熱變慢，溫度升高。
通過測量熱源的溫度變化（或因溫度變化導致的物理特性變化，如電阻），即可換算出對應的真空度。
主要類型
根據(jù)測量熱源特性變化的方式不同，常見類型有：
電阻式熱導真空計
核心元件是一根細金屬絲（如鎢絲、鉑絲），通過恒定電流加熱。
金屬絲的電阻隨溫度變化（利用其電阻溫度系數(shù)），壓力變化導致絲溫變化，進而引起電阻變化，通過測量電阻值可間接得到壓力。
熱電偶式熱導真空計
由加熱絲和熱電偶組成，加熱絲通恒定電流產(chǎn)生熱量，熱電偶直接測量加熱絲的溫度。
壓力變化導致加熱絲溫度變化，熱電偶將溫度信號轉(zhuǎn)換為電動勢信號，通過電動勢大小反映壓力。
特點與適用范圍
測量范圍：主要用于測量粗真空（10? Pa）至中真空（10?1 Pa），超出此范圍后，熱傳導與壓力的線性關(guān)系減弱，測量誤差增大。
優(yōu)勢：結(jié)構(gòu)簡單、成本低、響應速度較快，適合動態(tài)真空測量。
局限：屬于相對真空計，需用絕對真空計校準；測量結(jié)果受氣體種類、環(huán)境溫度等因素影響（不同氣體熱傳導系數(shù)不同）。
熱傳導真空計廣泛應用于真空鍍膜、真空干燥、真空冶金等工業(yè)領(lǐng)域，作為低精度真空測量的常規(guī)工具。