一、核心組成與測(cè)量原理

主要部件：由穩(wěn)頻激光器、干涉鏡和 6D 傳感器構(gòu)成，整體體積小、重量輕，可直接安裝在機(jī)床導(dǎo)軌上，適配性較強(qiáng)。

測(cè)量邏輯：激光光束經(jīng)干涉后，被 6D 傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束。其中一束經(jīng)角反射棱鏡反射后，與參考光束干涉產(chǎn)生條紋，通過(guò)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別并電子計(jì)數(shù)，實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)度位置的精準(zhǔn)記錄；另一部分光作為直線度測(cè)量的參考，結(jié)合傳感器與參考光束的相對(duì)關(guān)系完成相關(guān)參數(shù)測(cè)量。

二、穩(wěn)定性保障設(shè)計(jì)

結(jié)構(gòu)與激光器優(yōu)化

從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)到激光器選擇均經(jīng)過(guò)周密考量，目的是將橫向和角度漂移量降至低，從而確保測(cè)量?jī)x的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，減少因設(shè)備自身漂移導(dǎo)致的誤差。

環(huán)境補(bǔ)償機(jī)制

配備自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器，可實(shí)時(shí)校正環(huán)境變化（如溫度、氣壓波動(dòng)）對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響，避免環(huán)境因素干擾測(cè)量精度。

抗干擾濾波

專用的多重?cái)?shù)字濾波器能有效降低空氣波動(dòng)、溫度梯度等外界因素引起的測(cè)量誤差，進(jìn)一步提升數(shù)據(jù)的可靠性。