特點

■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時間可縮短約20%。
■標配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB（A）以下，
　這是一個在運轉(zhuǎn)過程中也不會打擾到您的噪音等級（*1)）
■C規(guī)格標配的ECO-SHOCK技術(shù)是一種省電的愛發(fā)科技術(shù)。
　該技術(shù)可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)
■“Model:LS”無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本（*3)
■希望進一步提高排氣速度的話，建議您搭配機械增壓泵使用。
　通過組合使用排氣速度可以達到120～1200m3/h。

（*1）LS120A-C時
（*2）C規(guī)格時
（*3）L規(guī)格還可以使用稀釋氣體。

用途

“Model:LS”有兩種規(guī)格。
首先是面向清潔工藝的規(guī)格。
為內(nèi)置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來說，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。

其次是面向輕工藝的規(guī)格。
具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等。

規(guī)格

*1：到達壓力時
*2：C式樣不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對應(yīng)無漏

排氣速度曲線