普飛索PERFSO—KELK為半導(dǎo)體行業(yè)提供超高品質(zhì)的加熱裝置
普飛索PERFSO—KELK為半導(dǎo)體行業(yè)提供超高品質(zhì)的加熱裝置
KELK 是****的半導(dǎo)體制造溫度控制設(shè)備制造商,在用于溫度控制的熱電模塊(珀?duì)柼┓矫?,KELK 參與了從材料到模塊、熱交換器和應(yīng)用設(shè)備的開(kāi)發(fā)、制造和銷(xiāo)售。基于特別的熱電元件技術(shù),自1966年成立以來(lái),KELK 一直秉承“制造溫度,用溫度制造溫度 ”的使命,為不同客戶(hù)提供各種產(chǎn)品。
CS 加熱器(Clean & Sate Heater)是一種緊湊型在線加熱器,用于高溫加熱半導(dǎo)體制造工藝中用于清洗、抗蝕劑剝離等的各種果液。 所有潤(rùn)濕部件均由高純度石英玻璃制成,加熱器使用高輸出鹵素?zé)舭l(fā)出的近紅外輻射,是一種無(wú)需擔(dān)心雜質(zhì)污染的高效加熱系統(tǒng)。
CS加熱器特點(diǎn)有:
清潔。加熱系統(tǒng)采用鹵素?zé)糨椛浼訜嵯到y(tǒng),潤(rùn)濕部分采用高純度透明石英雙層結(jié)構(gòu),加熱系統(tǒng)溫度較低,可*大限度地減少玻璃成分的洗脫,不會(huì)因加熱器傍邊破損而產(chǎn)生化學(xué)污染的風(fēng)險(xiǎn)。
**性。警報(bào)功能確保**。 結(jié)合專(zhuān)用控制器,可提供各種**功能和**特性、
結(jié)構(gòu)緊湊。設(shè)計(jì)緊湊,易于集成到濕站等設(shè)備中。
加熱效率高。加熱效率高達(dá) 90% 以上,實(shí)現(xiàn)了節(jié)能運(yùn)行,能源損耗極少。
加熱器更換方便。加熱器(鹵素?zé)簦┛蓮囊粋€(gè)方向輕松更換,無(wú)需拆卸系統(tǒng)管道。
出色的控制和操作性。通過(guò) PID 控制實(shí)現(xiàn)高精度溫度控制,各種操作和報(bào)告都集中在控制器的前面板上,并標(biāo)配外部饋入功能,用戶(hù)可根據(jù)系統(tǒng)配置選擇使用控制器。
LSI 制造過(guò)程中高溫加工液的加熱控制。擴(kuò)散前清洗液(氨周水、鹽酸滲透液)/氮化膜去除液(磷酸)/抗蝕劑剝離液(硫酸周水)。
其他領(lǐng)域各種化學(xué)溶液的加熱控制。鍍金、前處理溶液、清洗溶液等電鍍?nèi)芤?/span>

今后,KELK將繼續(xù)結(jié)合小松集團(tuán)的集體力量,作為熱電元件和應(yīng)用產(chǎn)品的綜合制造商,以及負(fù)責(zé)精密溫度控制的值得信賴(lài)的專(zhuān)業(yè)團(tuán)體,以先進(jìn)的技術(shù)滿(mǎn)足日益復(fù)雜的客戶(hù)需求。
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