氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正程序

來源：上海瑞貝貿(mào)易有限公司 2012年11月30日 10:45

塵埃粒子計數(shù)器是用于測量潔凈環(huán)境中單位體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器。它廣泛應(yīng)用于為各省市藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質(zhì)量監(jiān)督所等機(jī)構(gòu)、電子行業(yè)、制藥車間、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機(jī)械加工、塑膠、噴漆、醫(yī)院、環(huán)保、檢驗所等生產(chǎn)企業(yè)和科研部門。

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一．校正所需設(shè)備

1． 100級潔凈房或潔凈臺

2．一臺用于作對比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計數(shù)器，如Royco323

3．各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子，如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等

4．標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器，如Model 255

5．產(chǎn)生脫離水（DI水）的純水系統(tǒng)或類似裝置

6．其它普通電器，如220V電源插座，萬用表等等

二．校正的基本原理

標(biāo)準(zhǔn)粒子（如0.301um）通過255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數(shù)器同時或先后對取樣管進(jìn)行抽樣測試，并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內(nèi)，認(rèn)為合格。如果不同型號的粒子計數(shù)器，一要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測試結(jié)果。

三. 校正的基本步驟：

現(xiàn)假設(shè)對一臺常見的Royco HH200作校正

1．先，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM（立方英尺/分鐘），而Royco HH200則為0.1CFM。

2．先，請將潔凈臺開機(jī)，工作半小時，其間內(nèi)也打開Royco 323和Royco HH200，讓其預(yù)熱半小時。

3．準(zhǔn)備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

4．將配好的標(biāo)準(zhǔn)液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

5．設(shè)置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)

（1）取樣時間都設(shè)置為00：01：00

（2）取樣次數(shù)都設(shè)置03

（3）取樣模式都設(shè)置為Auto

（4）間隔時間都設(shè)置為00：00：05

（5）讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative

注：以上設(shè)置相同，因其流速有10倍差，故Royco323測試結(jié)果會是Royco HH200的10倍。

6．此時，打開255電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計約60SCFH時后，保持其工作狀態(tài)。

7．此時，讓Royco 323和Royco HH200同時工作，看其三次的平均結(jié)果，若在20%以內(nèi)，視為合格。

8．拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子，重復(fù)該測試。

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以上校正只是對比校正，尚用萬用表對其基本參數(shù)測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調(diào)校。

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