當照射原子核的X射線能量與原子核的內層電子的能量在同一數(shù)量級時,核的內層電子共振吸收射線的輻射能量后發(fā)生躍遷,而在內層電子軌道上留下一個空穴,處于高能態(tài)的外層電子跳回低能態(tài)的空穴,將過剩的能量以X射線的形式放出,所產(chǎn)生的X射線即為代表各元素特征的X射線熒光譜線。其能量等于原子內殼層電子的能級差,即原子特定的電子層間躍遷能量。只要測出一系列X射線熒光譜線的波長,即能確定元素的種類;測得譜線強度并與標準樣品比較,即可確定該元素的含量。由此建立了X射線熒光光譜 (XFS)分析法.
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