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小型等離子清洗機使用時注意事項

來源:德京科技(北京)有限公司   2013年08月29日 08:43  

使用時注意事項:

1.    儀器的功率參數(shù)設(shè)定不要超過60(即儀器額定功率的60%

2.    樣品處理時間不要過長(不要超過10分鐘)如果感覺處理的效果不是很理想可以停機后,過5分鐘(待儀器的熱量散掉后)在進(jìn)行一次處理。

3.    在日常的使用過程中一定要做到打開電源后,先進(jìn)行回氣操作使倉體恢復(fù)常壓(按下Air/Vent按鈕,并在35秒后復(fù)原Air/Vent按鈕)后再開始實驗。目的是防止真空泵油逆流。

4.    實驗中處理的樣品不要與儀器的艙內(nèi)高壓板接觸

5.    對于本機而言一般材料的處理,所供氣體量在200-400ml/min之間等離子密度較為適宜

6.    平常要保持儀器的清潔,特別要注意艙門密封處。

7.    儀器不要放于特殊環(huán)境中使用,例如:高溫   高濕等惡劣環(huán)境。

外加氣體使用注意

1.外加氣體(氧氣)由機箱的后邊 GAS1引入,現(xiàn)接口直徑為10毫米,也可配成直徑6毫米的接頭。

2.將氧氣的出口壓力調(diào)到0.2MPa,可長期接入,也可用完后關(guān)閉氧氣瓶。

3.外加氧氣時一定要注意:在正常使用前一定要在手動狀態(tài)下,先不按下GAS按鈕時給射頻,觀看艙體的.發(fā)光顏色,發(fā)白時為宜,此時再按下GAS按鈕,并調(diào)整流量計旋鈕,使流量在300--400毫升之間,此時的氧離子的發(fā)光顏色為灰色且有些霧蒙蒙的感覺,即為正常。

4.在艙體加射頻時出現(xiàn)打火的情況下(即真空度不夠的情況下),千萬不要加入氧氣,有可能引燃氧氣而將射頻線燒毀

 

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