光柵分為刻劃光柵、復(fù)制光柵、全息光柵等?？虅澒鈻攀怯勉@石刻刀在涂有金屬的表面上機械刻劃而成；復(fù)制光柵是用母光柵復(fù)制而成。典型刻劃光柵和復(fù)制光柵的刻槽是三角形。全息光柵是由激光干涉條紋光刻而成。全息通常包括正弦刻槽?？虅澒鈻啪哂醒苌湫矢叩奶攸c，全息光柵光譜范圍廣，雜散光低，且可作到高光譜分辨率。
光柵方程
　　反射式衍射光柵是在襯底上周期地刻劃很多微細的刻槽，一系列平行刻槽的間隔與波長相當(dāng)，光柵表面涂上一層高反射率金屬膜。光柵溝槽表面反射的輻射相互作用產(chǎn)生衍射和干涉。對某波長，在大多數(shù)方向消失，只在一定的有限方向出現(xiàn)，這些方向確定了衍射級次。如圖1所示，光柵刻槽垂直輻射入射平面，輻射與光柵法線入射角為α，衍射角為β，衍射級次為m，d為刻槽間距，在下述條件下得到干涉的極大值：
mλ=d（sinα+sinβ）
　　定義φ為入射光線與衍射光線夾角的一半，即φ=（α-β）/2；θ為相對與零級光譜位置的光柵角，即θ=（α+β）/2,得到更方便的光柵方程：
　　mλ=2dcosφsinθ
　　從該光柵方程可看出：
　　對一給定方向β，可以有幾個波長與級次m相對應(yīng)λ滿足光柵方程。比如600nm的一級輻射和300nm的二級輻射、200nm的三級輻射有相同的衍射角?！　⊙苌浼壌蝝可正可負。
　　對相同級次的多波長在不同的β分布開。
　　含多波長的輻射方向固定，旋轉(zhuǎn)光柵，改變α，則在α+β不變的方向得到不同的波長。
如何選擇光柵
選擇光柵主要考慮如下因素：
刻槽密度G=1/d，d是刻槽間隔，單位為mm。
閃耀波長
　　閃耀波長為光柵zui大衍射效率點，因此選擇光柵時應(yīng)盡量選擇閃耀波長在實際需要波長附近。如實際應(yīng)用在可見光范圍，可選擇閃耀波長為500nm。
光柵刻線
　　光柵刻線多少直接關(guān)系到光譜分辨率，刻線多光譜分辨率高，刻線少光譜覆蓋范圍寬，兩者要根據(jù)實驗靈活選擇。
光柵效率
　　光柵效率是衍射到給定級次的單色光與入射單色光的比值。光柵效率愈高，信號損失愈小。為提高此效率，除提高光柵制作工藝外，還采用特殊鍍膜，提高反射效率。
光柵光譜儀重要參數(shù)：
分辨率（resolution）
　　光柵光譜儀的分辨率R是分開兩條臨近譜線能力的度量，根據(jù)瑞利判據(jù)為：
　　R==λ/Δλ
　　光柵光譜儀有實際意義的定義是測量單個譜線的半高寬（FWHM）。實際上，分辨率依賴于光柵的分辨本領(lǐng)、系統(tǒng)的有效焦長、設(shè)定的狹縫寬度、系統(tǒng)的光學(xué)像差以及其它參數(shù)等。
　　R∝M.F/W
M--光柵線數(shù)　　F--譜儀焦距　　W--狹縫寬度
色散
　　光柵光譜儀的色散決定其分開波長的能力。光譜儀的倒線色散可計算得到：沿單色儀的焦平面改變距離χ引起波長λ的變化，即：
Δλ/Δχ=dcosβ/nF
　　這里d、β、F分別是光柵刻槽的間距、衍射角和系統(tǒng)的有效焦距，n為衍射級次。由方程可見，倒線色散不是常數(shù)，它隨波長變化。在所用波長范圍內(nèi)，改變化可能超過2倍。根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)，在本樣本中，用1200l/mm光柵色散的中間值（典型的為435.8nm）時的倒線色散。帶寬
　　帶寬是忽略光學(xué)像差、衍射、掃描方法、探測器像素寬度、狹縫高度和照明均勻性等，在給定波長，從光譜儀輸出的波長寬度。它是倒線色散和狹縫寬度的乘積。例如，單色儀狹縫為0.2mm，光柵倒線色散為2.7nm/mm，則帶寬為2.7*0.2=0.54nm。
波長精度、重復(fù)性和準(zhǔn)確度
　　波長精度是光譜儀確定波長的刻度等級，單位為nm。通常，波長精度隨波長變化，本樣本中為zui壞的情況。
　　波長重復(fù)性是光譜儀設(shè)定一個波長后，改變設(shè)定，再返回原波長的能力。這體現(xiàn)了波長驅(qū)動機械和整個儀器的穩(wěn)定性。卓立漢光的光譜儀的波長驅(qū)動和機械穩(wěn)定性，其重復(fù)性超過了波長精度。
　　波長準(zhǔn)確度是光譜儀設(shè)定波長與實際波長的差別。每臺單色儀都要在很多波長檢查波長準(zhǔn)確度。
　　定義為光譜儀的直徑與焦距的比值。這是對光譜儀接收角的度量，這是調(diào)整單色儀與光源及探測器耦合的重要參數(shù)。當(dāng)匹配時，可用上光譜儀的全部孔徑。但是大多數(shù)單色儀應(yīng)用長方形光學(xué)部件。這里定義為光譜儀的等效直徑與焦距的比值，長方形光學(xué)件的等效直徑是具有相同面積的園的直徑