電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計, 在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能. 先進的數(shù)字電子學(xué)提高真空計的性能和易于使用的特點,如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點調(diào)整. 抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命. *的傳感器屏蔽 (技術(shù))保護真空計防止過程污染. 堅固耐用的機械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)加強了 EMC 兼容性,長期穩(wěn)定性和溫度補償性. CDG025D 真空計為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新的標準.
電容膜片真空計應(yīng)用范圍:
1,要求高的應(yīng)用條件下,而快速的壓強測量:
2,用于刻蝕,CVD, PVD, ALD半導(dǎo)體制造設(shè)備
3,資料貯存和顯示器制造設(shè)備
4,工業(yè)真空設(shè)備
5,常用高精度真空測量
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