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六氟化硫

來源:臨海市偉華減壓器有限公司   2015年01月07日 12:38  

六氟化硫(SF6)是一種無色、無味、無毒、不易燃、不易爆的氣體,具有很強(qiáng)的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性,廣泛應(yīng)用于電器、宇航、電子、氣象、制冷、激光、、機(jī)器制造、醫(yī)藥研究等領(lǐng)域,高純六氟化硫還在大型的集成電路制造工藝中用作蝕刻劑。
六氟化硫(SF6)是一種無色、無味、無毒、不易燃、不易爆的氣體,具有很強(qiáng)的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性,廣泛應(yīng)用于電器、宇航、電子、氣象、制冷、激光、、機(jī)器制造、醫(yī)藥研究等領(lǐng)域,高純還在大型的集成電路制造工藝中用作蝕刻劑。

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