1 什么是掃描電子顯微鏡(SEM)
Scanning Electron Microscope(SEM)掃描型電子顯微鏡是由真空系統(tǒng)、
高壓電源、高靈敏度增幅器獲取樣品表面圖像的科學儀器。
2 SEM的工作原理
3 SEM與光學顯微鏡相比,SEM的優(yōu)點有哪些?
比光學顯微鏡多100x的景深;
高倍率和連續(xù)變倍(從10倍到4萬倍);
高分辨率(大于20nm)。
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