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精度=精密度+度
首先解釋一下精度的概念。用戶關(guān)注的精度，實(shí)際上包含了精密度和度兩項(xiàng)不同的內(nèi)容。用戶所需求的高精度儀器一方面要有好的測(cè)量精密度，即多次測(cè)量的離散型要小，另一方面要有好的性，即與真實(shí)含量的偏差要小。
精密度
精密度即檢測(cè)結(jié)果的離散性，通常以多次檢測(cè)的標(biāo)準(zhǔn)偏差S來(lái)計(jì)算，客戶如果更關(guān)心多次測(cè)量的極差，可以用正負(fù)二倍標(biāo)準(zhǔn)偏差來(lái)?yè)Q算，D=±2S，意思是任意兩次檢測(cè)結(jié)果的差有95%的可能性小于D。對(duì)于X熒光光譜儀類(lèi)分析儀器，精密度的，是與所分析譜線的強(qiáng)度(計(jì)數(shù)率)密切相關(guān)的，對(duì)于同一個(gè)樣品，通常譜線強(qiáng)度越高，精密度就越好。例如SDD探測(cè)器性能優(yōu)于Si-PIN的一個(gè)重要指標(biāo)就是它允許更高的計(jì)數(shù)通過(guò)率，并且保持分辨率不變。
度
另一個(gè)反映儀器精度的指標(biāo)是度，指的是檢測(cè)結(jié)果偏離真實(shí)值的程度，對(duì)于能量色散型X熒光光譜儀儀器而言，要得到好的度，首先要有好的解譜算法得到的特征線強(qiáng)度，其次要有好的、合適的定量方法從強(qiáng)度中得到的含量。
譜線強(qiáng)度計(jì)算
簡(jiǎn)單的計(jì)算譜線強(qiáng)度的方法是感興趣區(qū)加和(感興趣區(qū)邊界線性背景扣除)，該算法的重復(fù)性誤差較小，可能更容易得到較好的檢測(cè)精密度，但這種算法對(duì)于重疊譜處理能力很差，在有譜重疊的情況下，難以得到譜線的真實(shí)強(qiáng)度。當(dāng)采用“標(biāo)準(zhǔn)”定量算法時(shí)這會(huì)帶來(lái)很大的度方面的問(wèn)題，但對(duì)于后面將要提到的折線法卻是有利的，因?yàn)檫@種算法的特殊性(非標(biāo)準(zhǔn)算法)可以使經(jīng)由不的譜線強(qiáng)度得到的含量結(jié)果也“看起來(lái)很美”。通常，在科學(xué)、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)?strong>X熒光光譜儀分析軟件中為了得到較好的定量度，會(huì)用到解譜算法，在有重疊譜的時(shí)候，能夠?qū)⒆V線強(qiáng)度計(jì)算的盡量。這也是為什么我們采用解譜算法而不是前述簡(jiǎn)單強(qiáng)度算法的原因。
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