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激光調(diào)阻系統(tǒng)及修調(diào)技術(shù)機理

來源:江蘇新高科分析儀器有限公司   2015年12月26日 10:51  

為了提高厚膜電路的精度,必須進行阻值調(diào)整。由于厚膜絲網(wǎng)印刷操作固有的不準確性,基板表面的不均勻及燒結(jié)條件的不重復性,厚膜電阻常出現(xiàn)正負誤差,如果阻值超過標稱值將無法修正,但是,一般情況下印刷燒成后阻值低于目標值的大約30%,所以要通過激光調(diào)整達到目標值。 

激光調(diào)阻系統(tǒng)及修調(diào)技術(shù)機理 

激光修調(diào)是把一束聚焦的相干光在微機的控制下定位到工件上,使工件待調(diào)部分的膜層氣化切除以達到規(guī)定參數(shù)或阻值。調(diào)阻時局部溫升使玻璃熔化,氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋,可填平基體表面被切割的介質(zhì)。 

*的激光修調(diào)系統(tǒng)應用了大量的LSI、VLSI電路,以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過硬件直接與激光器、光束定位、分步重復及測量等系統(tǒng)相連接。測量系統(tǒng)由采用精密電橋和矩陣組合的無源網(wǎng)絡組成。 

*的激光修調(diào)系統(tǒng)具有多種修調(diào)功能,可以修調(diào)混合集成電路、厚薄膜電阻器網(wǎng)絡、電容網(wǎng)絡、瓷基薄膜集成元件,還可以修調(diào)D/A和A/D轉(zhuǎn)換器的精度,V/F轉(zhuǎn)換器的頻率,有源濾波器的零點頻率及運算放大器的失調(diào)電壓等。同時還具有IEEE488接口,可與其他測試設備進行數(shù)據(jù)傳輸。 

切割圖形 

激光調(diào)阻時,被切割的電阻體圖形主要有以下幾種: 

(1)單刀切割電阻法 
(2)雙刀切割電阻法 
(3)L型刀口切割電阻法 
(4)交叉對切電阻法 
(5)曲線型L刀口的切法 
(6)曲線型U型刀口的切法 

在實際工作中,主要應用的是前4種,對于不同的電阻應根據(jù)其方數(shù)的不同選擇不同的刀口。其中雙切和L型刀口zui為常用,而且調(diào)過的阻值穩(wěn)定性好

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