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日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵 一、產(chǎn)品簡介
CFB-3600渦輪分子泵的葉輪采用變截面葉齒，增強(qiáng)了葉片強(qiáng)度、減輕了轉(zhuǎn)子重量，縮短了啟動(dòng)時(shí)間，降低了機(jī)械損耗，增加了使用壽命。
日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵 二、壓縮比曲線和抽數(shù)曲圖
日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵 三、主要性能指標(biāo)
型號(hào) | CFB-3600 | |
進(jìn)氣口法蘭 | — |
|
排氣口法蘭 | — | LF100 |
抽氣速率 | L/s | 3600 |
壓縮比N2/H2 | — | 1×108/5×102 |
極限壓強(qiáng) | Pa | 2×10-6 |
電機(jī)轉(zhuǎn)速 | rpm | 12600 |
啟動(dòng)時(shí)間 | min | ＜10 |
停機(jī)時(shí)間 | min | ＜20 |
振動(dòng)值 | μm | ≤0.15 |
前極泵 | L/s | 30-70 |
冷卻水溫度 | ℃ | ≤25 |
泵體烘烤溫度 | ℃ | <120 |
冷卻水流量 | L/min | 1 |
安裝方向 | — | 垂直±5° |
重量 | kg | ～100 |
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