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日本ULVAC CFB-1200N耐腐蝕分子泵技術(shù)參數(shù)

來源:上海民儀電子有限公司   2015年12月29日 09:28  

日本ULVAC CFB-1200N耐腐蝕分子泵 一、產(chǎn)品簡介

        CFB-N系列耐腐蝕分子泵其葉輪采用國內(nèi)*的變截面葉齒,軸承采用陶磁精密軸承,以更高的可靠性實現(xiàn)了清潔無油的高真空環(huán)境,產(chǎn)品做了耐腐蝕的設(shè)計,具有*的耐腐蝕性能,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。

 

日本ULVAC CFB-1200N耐腐蝕分子泵 二、產(chǎn)品特點

        

  • 由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
  • 軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承,可以實現(xiàn)泵的任意角度安裝。

 

日本ULVAC CFB-1200N耐腐蝕分子泵 三、主要性能指標

 

型號

CFB-1200N

進氣口法蘭

LF200

CF200

排氣口法蘭

KF40

抽氣速率

L/s

1200

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機轉(zhuǎn)速

rpm

24000

啟動時間

min

<5

使用場合

耐腐蝕

振動值

μm

≤0.1

前極泵

L/s

8-15

冷卻水溫度

≤20

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

加熱器功率

W

<600

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~34

 

四、特性曲線及安裝尺寸

 

CFB系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線 

CFB系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線

CFB-N系列耐腐蝕復(fù)合分子泵安裝尺寸表

型號規(guī)格

CFB-1200N

高真空法蘭

LF200

CF200

D1

Ф240

Ф253

D2

Ф267

Ф267

D3

□167.6

□167.6

L1

142

142

L2

152

152

H1

393

393

H2

108

108

H3

135.5

135.5

H4

104

104

泵腿螺釘孔

4-M8

4-M8

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