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日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 一、特性
• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
• 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
• 低振動(dòng)低噪音。
• 維護(hù)周期可通過計(jì)時(shí)表控制。
日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 二、應(yīng)用
• 分析設(shè)備
• 氣體回收系統(tǒng)
• 涂料設(shè)備
• TMP 前級(jí)泵
• 氦滲漏探測(cè)器
• 半導(dǎo)體制造工藝
日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 三、規(guī)格參數(shù)
| 單位 | 50Hz | 60Hz | |
實(shí)際抽速 | L/min | 500 | 600 | |
極限壓力 | Pa | 1.0 | ||
馬達(dá) | 單相 |
| 100/115/200/230V, 600W, 4P, 電容啟動(dòng)運(yùn)行 | |
| 三相 |
| 200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P | |
滿載電流 | 單相 | A | 8.5/4.3/3.9 | 2.7/1.57/1.57/1.63 |
| 三相 |
| 10.0/8.6/4.8/4.0 | 2.8/2.5/2.5/1.47 |
重量 | 單相 | kg | 44.0 | |
| 三相 |
| 38.0 | |
進(jìn)出氣管道直徑 |
| 進(jìn)氣管KF-40 出氣管 KF-25 | ||
環(huán)境溫度 | °C | 5 – 40 | ||
水蒸氣處理 | g/天 | ≤25 (A.F. 開啟) | ||
尺寸 | 單相 | mm | 290(W) × 443(L) × 397(H) | |
| 三相 |
| 290(W) × 372(L) × 397(H) | |
四、外形圖
五、泵數(shù)曲線
六、對(duì)應(yīng)電壓與認(rèn)證
電壓 | 現(xiàn)行電壓 | CE 認(rèn)證 | CSA 認(rèn)證 |
單相, 100V, 200V, 230V | 標(biāo)準(zhǔn) | ● | ● |
三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz) | 標(biāo)準(zhǔn) | ● | ● |
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