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| 級(jí)別 指標(biāo) | EW-I | EW-II |
| 電阻率MΩ.cm（25℃） | 18以上（95%時(shí)間）不低于17 | 15（95%時(shí)間）不低于13 |
| 硅≤µg/l | 2 | 10 |
| >1µM微粒數(shù)≤個(gè)/ml | 0.1 | 5 |
| 細(xì)菌個(gè)數(shù)≤個(gè)/ml | 0.01 | 0.1 |
| 銅≤µg/l | 0.2 | 1 |
| 鋅≤µg/l | 0.2 | 1 |
| 鎳≤µg/l | 0.1 | 1 |
| 鈉≤µg/l | 0.5 | 2 |
| 鉀≤µg/l | 0.5 | 2 |
| 氯≤µg/l | 1 | 1 |
| 硝酸根≤µg/l | 1 | 1 |
| 磷酸根≤µg/l | 1 | 1 |
| 硫酸根≤µg/l | 1 | 1 |
| 總有機(jī)碳≤µg/l | 20 | 100 |
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