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一、分析原理的區(qū)別：
直讀火花光譜儀工作原理則是用電?。ɑ鸹ǎ┑母邷厥箻悠分懈鞣N元素從固態(tài)直接氣化并被激發(fā)而射出各元素的特征波長，用光柵分光后，成為按波長排列的“光譜”，這些元素的特征光譜線通過通過出射狹縫，射入各自的光電倍增管，光信號變成電信號，經(jīng)儀器的控制測量系統(tǒng)將電信號積分并進(jìn)行模/數(shù)轉(zhuǎn)換，然后由計算機處理，并打印出各元素的百分含量。
而X熒光光譜儀工作原理介紹用X射線照射試樣時，試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線的強度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X熒光光譜儀。由于X光具有一定波長，同時又有一定能量，因此，X射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型和能量色散型。
二、分析特點的區(qū)別：
火花直讀光譜儀要求試樣具有導(dǎo)電性，且只能是固體樣品，簡單地說就是火花直讀只能分析金屬固體樣品中的元素。
而X射線熒光光譜儀由計算機控制，自動化水平高，分析速度快，它對樣品要求不高，可以分析粉末樣品、固體樣品、熔融樣品、液體樣品，不需要樣品具有導(dǎo)電性，金屬及非金屬樣品均可分析。從這點看出X熒光光譜儀適用范圍更廣。
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