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GMP車間凈化工程氣流流形的檢測步驟

來源:杭州波濤凈化設備工程有限公司   2016年06月20日 11:10  
   GMP車間凈化工程潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之凈化車間潔凈室(CleanRoom),亦稱為無塵室或清凈室。zui主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照慣例,GMP車間凈化工程無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的響,所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
  GMP車間凈化工程氣流流形的檢測應按以下步驟進行:
  1垂直單向流潔凈室選擇縱、橫剖面各一個,以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一個;水平單向流潔凈室選擇縱剖面和工作區(qū)高度水平面各一個,以及距送、回風墻面0.5和房間中心處等3個橫剖面,所有面上的測點間距均為0.2m~1m;
  2)亂流潔凈室選擇通過代表性送風口中心的縱、橫剖面和工作區(qū)高度的水平面各一個,剖面上的測點間距為0.2m~0.5m,水平面上測點間距為0.5m~1m。兩個風口之間的中線上應有測點。
  2測定方法:用發(fā)煙器或懸掛單絲線的方法逐點觀察和記錄氣流流向,并可用量角器量出角度,發(fā)煙源可用超聲波霧化(0.5um~50um水霧)的去離子(DI)水、噴射方法生成的乙醇或二醇、固態(tài)二氧化碳(干冰)等,在高強度光源下示蹤。在確保對人和物無傷害時可以四氯化鈦(TiCl4)作示蹤粒子。

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