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電子行業(yè)超純水國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T11446。1-1997)

來(lái)源:深圳市鼎信達(dá)環(huán)保科技有限公司   2016年07月04日 16:11  

指標(biāo)名稱

一級(jí)水(EW-1)

二級(jí)水(EW-2)

三級(jí)水(EW-3)

四級(jí)水(EW-4)

電阻率MΩ.CM(250C)

18(95%時(shí)間)不低于17

15(95%時(shí)間)不低于13

12

0.5

硅zui大值≤μg/L

2

10

50

1000

微粒數(shù)zui大值>1μm

0.1

5

10

500

細(xì)菌個(gè)數(shù)≤個(gè)/mL

0.01

0.1

10

100

銅zui大值≤μg/L

0.2

1

2

500

鋅zui大值≤μg/L

0.2

1

2

500

鎳zui大值≤μg/L

0.1

1

2

500

鈉zui大值≤μg/L

0.5

2

5

1000

鉀zui大值≤μg/L

0.5

2

5

500

氯zui大值≤μg/L

1

1

10

1000

硝酸根zui大值≤μg/L

1

1

5

500

磷酸根zui大值≤μg/L

1

1

5

500

硫酸根zui大值≤μg/L

1

1

5

500

總有機(jī)碳zui大值

≤μg/L

20

100

200

1000

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