1.溫度
無塵室內(nèi)溫度是指室內(nèi)環(huán)境空氣的溫度，單位以攝氏度(℃)表示?？梢允褂貌Ａ囟扔?jì)、數(shù)字式(包括熱電偶、熱電阻、半導(dǎo)體式)溫度計(jì)測定室內(nèi)溫度，也可以使用干濕球濕度計(jì)、數(shù)字式濕度計(jì)和風(fēng)速計(jì)所附的溫度計(jì)。要求溫度計(jì)測試范圍應(yīng)在-10℃至50℃，準(zhǔn)確度為±0.3℃。
注意：
（1）讀數(shù)時(shí)視線必須與標(biāo)尺垂直，并與液柱面處于同一水平面。
（2）讀數(shù)時(shí)不可用手摸標(biāo)尺或?qū)囟扔?jì)取出插孔，更不允許用手握住溫包來讀數(shù)，否則將造成極大的誤差。
2.相對濕度
濕度是指空氣中水分的含量。有兩種表示方法：(1)濕度：單位體積空氣中所含水氣的質(zhì)量；(2)相對濕度(RH)：空氣中實(shí)際水氣壓與同一溫度條件下飽和水氣壓之比值，單位用%表示。濕度一般用相對濕度表示。相對濕度可以使用干濕球溫度計(jì)、氯化鋰露點(diǎn)式濕度計(jì)、電容式數(shù)字濕度計(jì)測定，要求濕度計(jì)測試范圍應(yīng)在12%至99%，準(zhǔn)確度為±0.3%。使用方法參見所用儀器的使用說明書。
3.空氣流速
室內(nèi)外溫差、壓差、人工通風(fēng)、空調(diào)、室內(nèi)熱源等都可引起空氣流動，同室外氣流一樣對污染物有稀釋和擴(kuò)散作用。空氣流速可用熱球式電風(fēng)速計(jì)和式電風(fēng)速計(jì)測量，要求風(fēng)速計(jì)測試范圍應(yīng)在0.01 m/s至20m/s，準(zhǔn)確度為±5%。使用方法參見儀器使用說明書。
4.新風(fēng)量
（一）原理
采用示蹤氣體濃度衰減法。在待測室內(nèi)通入適量示蹤氣體，由于室內(nèi)、外空氣交換，示蹤氣體的濃度呈指數(shù)衰減，根據(jù)濃度隨時(shí)間的變化值，計(jì)算出室內(nèi)的新風(fēng)量。
（二）儀器和材料
（1）袖珍或輕便型氣體濃度測定儀。
（2）尺、搖擺電扇。
（3）示蹤氣體：無色、無味、使用濃度無毒、安全、環(huán)境本底低、易采樣、易分析的氣體。
表2示蹤氣體環(huán)境本底水平及安全性資料：
 
5.專業(yè)生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動部分之發(fā)塵。
b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。
d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無塵室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。
f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。
h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。
i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。
j.對于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無塵室之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。
k.應(yīng)有無塵室工具組，但不得帶出無塵室外使用。