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01-13現(xiàn)代掃描電鏡的發(fā)展及其在材料科學中的應用
介紹了掃描電子顯微鏡的工作原理和特點,特別是近幾年發(fā)展起來的環(huán)境掃描電鏡(ES2EM)及其附帶分析部件如能譜儀、EBSD裝置等的原理、特點和功能,并結合鋼鐵材料研究展望了其應用前景。1、掃描電鏡原理掃描電鏡(ScanningElectronMicroscope,簡寫為SEM)是一個復雜的系統(tǒng),濃縮了電子光學技術、真空技術、精細機械結構以及現(xiàn)代計算機控制技術。成像是采用二次電子或背散射電子等工作方式,隨著掃描電鏡的發(fā)展和應用的拓展,相繼發(fā)展了宏觀斷口學和顯微斷口學。掃描電鏡是在加速高壓作用下將電子2017
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