今日焦點(diǎn)
查看更多Logitech將推出全新的LP70多工位精密研磨和拋光系統(tǒng)。 該系統(tǒng)自動(dòng)化程度高,具有創(chuàng)新的特性和功能,是需要高規(guī)格表面光潔度和平整度應(yīng)用的多晶圓加工方面的理想解決方案。
LP70精密研磨和拋光系統(tǒng)將成為Logitech日益增長(zhǎng)的高度自動(dòng)化和強(qiáng)大的材料加工技術(shù)的新成員。 該臺(tái)式系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì),多可容納4個(gè)工作站,可同時(shí)進(jìn)行多晶圓樣品處理。該系統(tǒng)具有高精度,是生產(chǎn)和研究型實(shí)驗(yàn)室的理想解決方案。 通過創(chuàng)新設(shè)計(jì)與直觀的操作員控制相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了增強(qiáng)的工藝性能。
主要功能包括:
- 四個(gè)標(biāo)準(zhǔn)工作站,每個(gè)工作站的晶圓處理能力高達(dá)4“/ 100mm - 每個(gè)工作站的夾具速度可單獨(dú)控制,以獲得高精度結(jié)果。
- 藍(lán)牙功能,包括實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集和反饋,自動(dòng)平整度控制和PP夾具上的用于終點(diǎn)厚度控制的數(shù)字顯示器--- 提高工藝精度。
- 所有工藝條件均通過用戶界面進(jìn)行控制,包括盤速和材料去除率 - 為操作員提供*控制。
- 通過蠕動(dòng)泵進(jìn)行計(jì)量磨料進(jìn)料,可以高度控制輸送到盤上的磨料量,使操作員可以輕松地重復(fù)每個(gè)過程。
- 構(gòu)建、保存和重新調(diào)用多階段配方,從而提高流程的可重復(fù)性。
- 盤速度高達(dá)100rpm - 有助于提高研磨和拋光速度。
該廠商推薦產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。