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近期我司新升級(jí)了小型濺射、蒸鍍儀器：1、腔體材質(zhì)全鋁合金一體加工成形。2、進(jìn)氣口直接在腔體側(cè)壁整體加工進(jìn)氣管道減少至少3處管道連接口從而減小漏氣故障率。3、設(shè)備寬度由435mm 減小到420mm。 4、濺射磁場(chǎng)加強(qiáng)。5、6兩款產(chǎn)品全部預(yù)留了SMA擴(kuò)展口，進(jìn)行晶振或者其他信號(hào)輸入輸出。小型臺(tái)式濺射功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率，可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。
2025款 1英寸微型探針臺(tái)：修改了 3軸滑臺(tái)加強(qiáng)剛性強(qiáng)度，增加了行程，提高了精度和使用壽命，腔體部分內(nèi)徑和高度加大增高，電接口升級(jí)了增強(qiáng)絕緣電阻和最高加電壓上限。
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