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序號(hào)

儀器名稱

數(shù)量

單位

詳細(xì)技術(shù)指標(biāo)及配(附)件

1

雙光子三維光刻機(jī)

1

套

1.雙光子三維加工系統(tǒng)：

1.1氣冷飛秒光纖激光器重復(fù)頻率：80MHz ± 1MHz；

1.2平均輸出功率：＞120ｍＷ；

1.3中心波長(zhǎng)：780 nm ± 10 nm；

1.4樣品運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)：三維方向最大行程均為300μm的納米位移臺(tái)；

1.5二維加工系統(tǒng)最大行程：100mmx100mm機(jī)械運(yùn)動(dòng)臺(tái)；

1.6光斑運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)：最大掃描面積達(dá)到Ø=1 mm的二維掃描振鏡；

1.7垂直方面最大行程：8mm的位移系統(tǒng)；

1.8全自動(dòng)找界面系統(tǒng)：配置可以實(shí)時(shí)觀測(cè)加工過(guò)程的高精度顯微鏡相機(jī)；配置可以用于無(wú)塵室的氣浮光學(xué)平臺(tái)；操作員控制臺(tái)：XY方向以及Z軸方向運(yùn)動(dòng)控制器；配置能操控系統(tǒng)外設(shè)的電腦；配置適用于無(wú)塵室的不銹鋼工作臺(tái)，大小120 x 80 cm²；

2.光刻機(jī)透鏡模組：

2.1最高精度的3D微納加工套件：可使用鏡頭浸入式加工模式及普通油浸鏡頭加工模式；使用光斑掃描加工模式時(shí)最大單次加工面積為Ø = 200 ?m；浸入式鏡頭物鏡3D SF； 63x；NA=1.4；

2.2中等精度的3D微納加工套件：可使用鏡頭浸入式加工模式及普通油浸鏡頭加工模式；使用光斑掃描加工模式時(shí)最大單次加工面積為Ø = 400 ?m；浸入式鏡頭物鏡3D MF； 25x；NA=0.8；

2.3介觀尺度的3D微納加工套件：可使用鏡頭浸入式加工模式及普通油浸鏡頭加工模式；使用光斑掃描加工模式時(shí)最大單次加工面積為Ø = 1,000 ?m；浸入式鏡頭物鏡3D LF； 10x；NA=0.3；

2.4介觀尺度的二維加工套件：可使用空氣鏡頭以及光斑掃描加工模式，最大單次加工面積為Ø = 600 ?m；浸入式鏡頭物鏡2D MF； 20x；NA=0.5；

3.整體設(shè)備技術(shù)指標(biāo)：

*3.1橫向最小三維線寬：<200nm；

*3.2橫向最小二維線寬：<160nm；

*3.3結(jié)構(gòu)垂直方向最佳分辨率（最小間隔）：≤1000 nm （投標(biāo)時(shí)需提供合理的參數(shù)驗(yàn)證方式，并且在交貨時(shí)，驗(yàn)證該項(xiàng)參數(shù)，無(wú)法驗(yàn)證或驗(yàn)證不合格將不予以驗(yàn)收）；

3.4結(jié)構(gòu)橫向最佳分辨率：500nm ；

3.5二維平面可加工范圍：≥100mm×100mm；

3.6壓電納米三維移動(dòng)工件臺(tái)執(zhí)行寫入作業(yè)重復(fù)精度誤差：<±10nm；

3.7振鏡掃描模式最高寫入速度：≥10mm/sec；

3.8監(jiān)控：可對(duì)加工過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)控；

*3.9其他：安裝培訓(xùn)時(shí)需現(xiàn)場(chǎng)加工一件4-5層橫豎交錯(cuò)的木堆結(jié)構(gòu)，其最上層木材單個(gè)寬度不大于200nm（投標(biāo)時(shí)需提供合理的參數(shù)驗(yàn)證方式，并且在交貨時(shí)，驗(yàn)證該項(xiàng)參數(shù)，無(wú)法驗(yàn)證或驗(yàn)證不合格將不予以驗(yàn)收）。