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聚焦離子束電子束雙束顯微鏡中標(biāo)結(jié)果公告
2023年06月16日 11:48:42 來源:機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺(tái) 點(diǎn)擊量:4213

項(xiàng)目名稱:北京懷柔實(shí)驗(yàn)室 2023年第二批科研設(shè)備采購項(xiàng)目,項(xiàng)目編號(hào):1495-234thhrlab02/03,招標(biāo)范圍:產(chǎn)品名稱:聚焦離子束電子束雙束顯微鏡 數(shù)量:1臺(tái) 簡要技術(shù)規(guī)格:聚焦離子束電子束雙束顯微鏡(FIB-SEM)是一種半導(dǎo)體檢測設(shè)備,具體規(guī)格如下: 1)用于晶圓上各項(xiàng)工藝后的形貌觀察及納米級(jí)檢測(SEM),電子束束流滿足Min.小于等于1pA; 2)用于實(shí)現(xiàn)對樣品進(jìn)行離子束切割加

  【化工儀器網(wǎng) 市場商機(jī)
 
  項(xiàng)目名稱:北京懷柔實(shí)驗(yàn)室 2023年第二批科研設(shè)備采購項(xiàng)目
 
  項(xiàng)目編號(hào):1495-234thhrlab02/03
 
  招標(biāo)范圍:產(chǎn)品名稱:聚焦離子束電子束雙束顯微鏡 數(shù)量:1臺(tái) 簡要技術(shù)規(guī)格:聚焦離子束電子束雙束顯微鏡(FIB-SEM)是一種半導(dǎo)體檢測設(shè)備,具體規(guī)格如下: 1)用于晶圓上各項(xiàng)工藝后的形貌觀察及納米級(jí)檢測(SEM),電子束束流滿足Min.小于等于1pA; 2)用于實(shí)現(xiàn)對樣品進(jìn)行離子束切割加工功能(FIB),離子束束流滿足Min.小于等于1pA; 3)用于實(shí)現(xiàn)三維形貌觀察分析; 4)用于實(shí)現(xiàn)電路修復(fù); 5)用于實(shí)現(xiàn)EDS及EBIC功能; 6)適用于6英寸及以下晶圓。
 
  招標(biāo)機(jī)構(gòu):天恒招標(biāo)有限公司
 
  招標(biāo)人:北京懷柔實(shí)驗(yàn)室
 
  開標(biāo)時(shí)間:2023-06-08 09:30
 
  公示時(shí)間:2023-06-12 18:18 - 2023-06-15 23:59
 
  中標(biāo)結(jié)果公告時(shí)間:2023-06-16 11:08
 
  中標(biāo)人:恒裕通有限公司
 
  制造商:Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o/Bruker Nano GmbH/point electronic GmbH
 
  制造商國家或地區(qū):捷克
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