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Crystal Orientation-XRD系列晶向定位

2025-05-30

產(chǎn)      地:
暫無
所在地區(qū):
上海上海市
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XRD系列晶向定位

Omega/Theta(XRD)                          

用于超快晶體定向的全自動垂直三軸XRD    


  • 10秒內(nèi)完成定向

  • 定向精度:0.003°

  • 定向轉(zhuǎn)移技術(shù):多鑄錠取向測定,實(shí)現(xiàn)高效切割

  • 晶錠端面及定位邊定向和轉(zhuǎn)移夾具可選

  • 光學(xué)測量工具可選,可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度

  • 適應(yīng)不同樣品的精密樣品轉(zhuǎn)盤、mapping臺和工裝夾具

  • 搖擺曲線測量


XRD系列晶向定位

DDCOM(XRD)

緊湊型超快晶體自動定向儀

  • 10秒內(nèi)完成定向

  • 定向精度:0.01°

  • 兩個閃爍探測器

  • 專為方位角設(shè)置和晶向標(biāo)記而設(shè)計(jì)

  • 可測直徑為 8 mm 至**225 mm的晶圓和晶錠

  • 無需水冷

XRD系列晶向定位

SDCOM(XRD)

用戶友好的緊湊型多功能XRD

  • 超快測量,10秒內(nèi)返回結(jié)果

  • 定向精度:0.01°

  • 定向轉(zhuǎn)移技術(shù):多鑄錠取向測定,實(shí)現(xiàn)高效切割

  • 光學(xué)測量工具可選,可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度

  • 樣品直徑1-200mm

  • 無需水冷



XRD系列晶向定位

XRD-OEM

在線晶體定向測定

  • 標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)接口,可集成到任何自動化或加工系統(tǒng)中

  • 線切/研磨前對大型晶錠進(jìn)行全自動在線定向

  • 可內(nèi)置于磨床和切割機(jī)等惡劣環(huán)境中使用

  • 平邊/V槽的光學(xué)測量功能,如位置、形狀、長度、深度等


Wafer XRD 200 / 300



XRD系列晶向定位

Wafer XRD 200

無縫融入生產(chǎn)線的全自動高速XRD

  • 用于3-8英寸晶圓片

  • 定向精度:0.003°

  • 產(chǎn)能:100萬片/年

  • 幾秒鐘內(nèi)提供各種基本參數(shù)的關(guān)鍵數(shù)據(jù),如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測量等

  • 全自動處理和揀選晶圓片


XRD系列晶向定位

Wafer XRD 300

用于300mm晶圓生產(chǎn)的高速XRD

  • 超快速提供12英寸晶圓的晶體取向和幾何特征等

  • 定向精度:0.003°

  • 幾秒鐘內(nèi)提供各種基本參數(shù)的關(guān)鍵數(shù)據(jù),如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測量等


附加功能

XRD系列晶向定位  XRD系列晶向定位 XRD系列晶向定位 XRD系列晶向定位

       晶圓面掃                          鑄錠堆垛                      自動化晶圓揀選                 小樣品夾具









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