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小型臺(tái)式無(wú)掩膜光刻機(jī)- MA1200
小型臺(tái)式無(wú)掩膜光刻機(jī)- MicroWriter ML3是英國(guó)公司專為實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)開發(fā)，為微流控、SAW、半導(dǎo)體、自旋電子學(xué)等研究領(lǐng)域提供方便高效的微加工方案。
傳統(tǒng)的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專業(yè)供應(yīng)商提供，但是在研發(fā)環(huán)境中，掩膜板的設(shè)計(jì)通常需要經(jīng)常改變。無(wú)掩膜光刻技術(shù)通過(guò)以軟件設(shè)計(jì)電子掩膜板的方法，克服了這一問題。與通過(guò)物理掩膜板進(jìn)行光照的傳統(tǒng)工藝不同，激光直寫是通過(guò)電腦控制一系列激光脈沖的開關(guān)，在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。
MA1200 是一款多功能激光直寫光刻系統(tǒng)，具有結(jié)構(gòu)小巧緊湊(70cm x 70cm x 70cm)，無(wú)掩膜直寫系統(tǒng)的靈活性，還擁有高直寫速度，高分辨率的特點(diǎn)。采用集成化設(shè)計(jì)，全自動(dòng)控制，可靠性高，操作簡(jiǎn)便。適用于各種實(shí)驗(yàn)室桌面。
產(chǎn)品特點(diǎn)
Focus Lock自動(dòng)對(duì)焦功能 | 光學(xué)輪廓儀 |
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標(biāo)記物自動(dòng)識(shí)別 | 直寫前預(yù)檢查 |
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簡(jiǎn)單的直寫軟件 | Clewin 掩膜圖形設(shè)計(jì)軟件 |
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上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
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