納米壓印系統(tǒng)，針對大學(xué)實驗室、研究所微納米加工研究設(shè)計，配備溫度控制和低壓控制系統(tǒng)，使用方便，性能穩(wěn)定可靠；同時配合專業(yè)設(shè)計的壓印模板，可實現(xiàn)各種微納米圖形加工，特征線寬小于20nm；

納米壓印系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域：

光學(xué)器件，顯示器，數(shù)據(jù)存儲，生物技術(shù)，半導(dǎo)體芯片，化學(xué)合成，新型材料等

技術(shù)性能：

*操作方便

*可升級功能

*客戶可根據(jù)需求定制設(shè)備功能

*用戶通過觸摸屏來程序化控制處理過程；

*用戶可自主設(shè)定工藝參數(shù)；

*真空吸附模板和Wafer

*具備UV固化功能

*Wafer尺寸：4英寸；

*壓印尺寸：2英寸；

*壓印壓力：0~25PSI（可升級到大100PSI）
*模板尺寸：5×0.09英寸
*典型壓印時間：小于5分鐘/wafer