OKANO岡野 皮拉尼真空計(jì) APG-202N32-10-18

OKANO岡野 皮拉尼真空計(jì) APG-202N32-10-18

輕薄緊湊，傳感器耐用，價(jià)格低廉。 一種新的皮拉尼真空計(jì)誕生了。

真空計(jì)：窺探真空世界的精密“眼睛”

真空計(jì)，也被稱為真空規(guī)，是專門用于測(cè)量低于大氣壓（即真空環(huán)境）下氣體壓強(qiáng)的儀器。它是真空技術(shù)領(lǐng)域的核心傳感器，如同設(shè)備的“眼睛”，精確感知并量化真空腔體內(nèi)的稀薄氣體狀態(tài)。其測(cè)量范圍極其寬廣，跨越十幾個(gè)數(shù)量級(jí)（從接近大氣壓的 10^5 Pa 到超高真空的 10^{-12} Pa 以下），針對(duì)不同的壓強(qiáng)區(qū)間，需要采用基于不同物理原理的真空計(jì)。

真空計(jì)是探索和駕馭真空世界的基石。從簡(jiǎn)單的機(jī)械式到精密的電容薄膜式和電離規(guī)，不同類型各司其職，共同覆蓋了從粗真空到真空的廣闊范圍。它們以其精確的測(cè)量能力、對(duì)過(guò)程控制的關(guān)鍵作用以及對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和安全運(yùn)行的保障，深刻影響著半導(dǎo)體、材料科學(xué)、光學(xué)、航空航天、能源、醫(yī)療等眾多科技領(lǐng)域的發(fā)展。選擇合適的真空計(jì)并正確使用和維護(hù)，是確保真空系統(tǒng)高效、可靠運(yùn)行的關(guān)鍵所在。

產(chǎn)品規(guī)格

主要類型、工作原理與核心特點(diǎn)

電容薄膜真空計(jì)：

原理： 利用氣體壓力使超薄金屬膜片產(chǎn)生微小形變，通過(guò)檢測(cè)膜片與固定電極間電容的變化來(lái)測(cè)量壓強(qiáng)。

特點(diǎn)：

量程： 寬量程，覆蓋粗真空到高真空（大氣壓 ~ 10^{-4} Pa 或更低）。

優(yōu)點(diǎn)： 測(cè)量結(jié)果與氣體種類無(wú)關(guān)（絕對(duì)壓強(qiáng)計(jì)），精度高、穩(wěn)定性好、響應(yīng)快、耐腐蝕（選擇合適的膜片材料）、無(wú)污染、可測(cè)量分壓。

缺點(diǎn)： 成本相對(duì)較高，過(guò)載可能損壞膜片，復(fù)雜環(huán)境需特殊設(shè)計(jì)。

復(fù)合真空計(jì)：

原理： 將兩種或多種類型的真空計(jì)（如皮拉尼計(jì) + 冷陰極電離規(guī) / 熱陰極電離規(guī)）集成在一個(gè)系統(tǒng)或探頭中。

特點(diǎn)：

量程： 覆蓋極寬范圍（從大氣壓到超高真空）。

優(yōu)點(diǎn)： 單一系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全量程覆蓋，簡(jiǎn)化設(shè)備，無(wú)縫切換，尤其適用于真空過(guò)程控制。常用組合是皮拉尼（低中真空） + 電離規(guī)（高真空）。

缺點(diǎn)： 系統(tǒng)相對(duì)復(fù)雜，成本較高。