OKANO岡野 皮拉尼真空計 APG-202N32-05-15
2025-08-08
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OKANO岡野 皮拉尼真空計 APG-202N32-05-15
OKANO岡野 皮拉尼真空計 APG-202N32-05-15
輕薄緊湊,傳感器耐用,價格低廉。 一種新的皮拉尼真空計誕生了。
真空計:窺探真空世界的精密“眼睛”
真空計,也被稱為真空規(guī),是專門用于測量低于大氣壓(即真空環(huán)境)下氣體壓強的儀器。它是真空技術(shù)領(lǐng)域的核心傳感器,如同設(shè)備的“眼睛”,精確感知并量化真空腔體內(nèi)的稀薄氣體狀態(tài)。其測量范圍極其寬廣,跨越十幾個數(shù)量級(從接近大氣壓的 10^5 Pa 到超高真空的 10^{-12} Pa 以下),針對不同的壓強區(qū)間,需要采用基于不同物理原理的真空計。
真空計是探索和駕馭真空世界的基石。從簡單的機械式到精密的電容薄膜式和電離規(guī),不同類型各司其職,共同覆蓋了從粗真空到真空的廣闊范圍。它們以其精確的測量能力、對過程控制的關(guān)鍵作用以及對產(chǎn)品質(zhì)量和安全運行的保障,深刻影響著半導(dǎo)體、材料科學(xué)、光學(xué)、航空航天、能源、醫(yī)療等眾多科技領(lǐng)域的發(fā)展。選擇合適的真空計并正確使用和維護(hù),是確保真空系統(tǒng)高效、可靠運行的關(guān)鍵所在。
廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域
真空計是幾乎所有涉及真空環(huán)境的工業(yè)和科研活動的工具:
半導(dǎo)體制造: 光刻、刻蝕、化學(xué)氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD)、離子注入等工藝過程的關(guān)鍵監(jiān)控。
光學(xué)與功能性鍍膜: 磁控濺射、蒸發(fā)鍍膜、離子鍍等工藝中精確控制真空度保證膜層質(zhì)量。
真空冶金與熱處理: 控制熔煉、燒結(jié)、退火、釬焊等工藝的真空環(huán)境。
粒子加速器與核聚變裝置: 維持超高真空環(huán)境以減少粒子與氣體分子的碰撞損失。
分析儀器: 質(zhì)譜儀 (MS)、掃描電子顯微鏡 (SEM)、透射電子顯微鏡 (TEM)、X 射線光電子能譜儀 (XPS) 等儀器內(nèi)部真空度的測量與控制。
真空干燥與冷凍干燥: 監(jiān)測干燥過程的真空度變化。
真空包裝: 控制包裝機內(nèi)的真空度以延長食品保質(zhì)期。
電真空器件制造: 顯像管、X 光管、真空開關(guān)管等生產(chǎn)過程中的排氣、封接工藝。
空間模擬: 在地面模擬太空高真空環(huán)境。
醫(yī)療設(shè)備: 直線加速器放療、真空吸引設(shè)備等。
產(chǎn)品規(guī)格
測量范圍 | 2.0×10?1~2.0×103Pa |
可視范圍 | 1.0×10?1~1.0×10?Pa |
表示法 | 7seg LED紅色(地幔部分2位,指數(shù)部分1位) |
表示周期 | 0.5秒 |
傳感器幾何形狀 | 圓柱形φ18mm,由BS(內(nèi)部鉑絲)制成 |
傳感器電纜長度 | 有 4 種類型可供選擇 - 2m / 5m / 10m / 20m |
模擬輸出 | 0~5V偽對數(shù)輸出(0~5V為顯示范圍) 各范圍內(nèi)線性輸出,負(fù)載偏移2kΩ以上 |
比較器輸出 | HI/GO/LO 3點輸出(AC250V 2A/DC30V 2A) |
通信輸出 | 符合 RS-232C 標(biāo)準(zhǔn) |
工作溫度范圍 | 0~+50°C(不包括交流適配器) |
權(quán)力 | DC12V~24V 交流適配器 使用 AC100~120V 交流適配器時 *交流適配器是可選的 |
移動平均函數(shù) | 可在 0.5~9 秒范圍內(nèi)配置 |
尺寸(不包括突起) | 96(寬)×96(高)×46.7(深)毫米 |
重量 | 主體約350g 傳感器約300g |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 傳感器φ18、傳感器電纜、桌面支架、面板安裝支架、記錄器/通信連接器、防滑片 |
高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
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