氧化鋁（碳化硅）陶瓷基板燒結(jié)制備設(shè)備的用途及特點(diǎn)：

該設(shè)備主要用于氮化鋁(或碳化硅)陶瓷基板的燒結(jié)成型。

(1)臥式爐體結(jié)構(gòu)，雙層水冷夾套設(shè)計(jì)，一鍵啟動(dòng)，全自動(dòng)運(yùn)行工藝穩(wěn)定可靠。

(2)帶有氮?dú)忸A(yù)熱功能，配多路質(zhì)量流量計(jì)，多點(diǎn)進(jìn)氣，有利于爐溫均勻性。

(3)爐膛內(nèi)由低灰分石墨發(fā)熱體，低灰分石墨硬氈保溫，長壽命熱電偶測溫，配進(jìn)口紅外監(jiān)測，測控溫穩(wěn)定可靠。

(4)發(fā)熱元件沿爐膛內(nèi)壁園周均勻布置，多均控溫有利于加熱溫度均勻，配有多段PID和智能診斷功能，進(jìn)一步提高燒結(jié)質(zhì)量。

(5)爐后帶快冷風(fēng)機(jī)及熱交換器，冷卻速度快，提高生產(chǎn)效率。

氧化鋁（碳化硅）陶瓷基板燒結(jié)制備主要規(guī)格：

設(shè)計(jì)溫度2200℃、真空1Pa、裝料區(qū)尺寸有（長寬高）：800×400×400mm、1500×500×500mm、1800×800×800mm