AE PINNACLE PLUS+ 10K脈沖直流電源

Pinnacle® Plus 系列Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus 電源為單體直流脈沖電源，為您的反應(yīng)工藝提供脈沖直流電解決方案所有優(yōu)點(diǎn)，包括使用簡單、節(jié)約成本以及具有的靈活性。結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)直流電技術(shù)和經(jīng)過工藝證明的脈沖直流電技術(shù)，Pinnacle Plus 電源與復(fù)雜而昂貴的交流電解決方案相比，沉積率更高，重復(fù)性能更好，薄膜質(zhì)量更為優(yōu)異。優(yōu)勢:
●更高的沉積率與產(chǎn)品率
●薄膜均勻性和品質(zhì)* 
●成弧造成的基材損壞減少 
●成本更低
●系統(tǒng)整合容易
●的工藝靈活性和寬容度
●重復(fù)性能
●在過度曲線上運(yùn)行穩(wěn)定
●吞吐量更高
●便于監(jiān)控
●的系統(tǒng)靈活性特點(diǎn):
●一個緊湊型封裝
●頻率調(diào)節(jié)范圍為 5-350kHz
●占空比高達(dá)45%
●電壓范圍寬——單輸出寬阻抗范圍 
●大功率運(yùn)行
●基材溫度低
●單輸出（5kW 和 10kW 型號）
●用于雙陰極生產(chǎn)的雙輸出（雙路5kW 型號）
●的弧控制
●反應(yīng)性濺射閉環(huán)控制規(guī)格：
●輸出功率：5KW單輸出、5KW雙輸出、10KW單輸出
●電壓范圍：325-650VDC，可選325-800VDC輸出（寬Z）
●輸出功率接頭：五個終端、DIN壓縮接頭；zui大電線尺寸：＃6 AWG
●輸出接頭：兩個終端、多個觸點(diǎn)、帶有應(yīng)力釋放功能的可插入式接頭或UHF接頭
●zui大電流：
15.4ADC；15.4ADC/輸出；30.8ADC
●頻率：5到350KHz，可變
●反向電壓：工作電壓的10%
●點(diǎn)火功能：zui大1500VDC，正常1350VDC
●調(diào)節(jié)模式：功率、電壓或電流
●交流線電壓：200/208、400或480VAC
●電流：5KW：200/208VAC：標(biāo)稱值17A/Φ
400VAC：標(biāo)稱值8.5A/Φ
480VAC：標(biāo)稱值7.5A/Φ
5KW雙輸出/10KW單輸出200/208VAC：標(biāo)稱值35A/Φ
400VAC：標(biāo)稱值17A/Φ
480VAC：標(biāo)稱值15A/Φ
●尺寸：133×483×639mm（高×寬×長）
●重量：5KW：
21.4kg；5/5、10KW：30kgPinnacle® Plus 5KW、5/5KW、10KW