AE CESAR 1330 AE CESAR 1330射頻電源
- 公司名稱 深圳市昊光機電科技應用有限公司
- 品牌
- 型號 AE CESAR 1330
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2017/2/23 9:16:39
- 訪問次數(shù) 605
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強大而多功能的 Cesar® 射頻電源平臺可提供非常穩(wěn)定的射頻功率輸送性能,以及一個多樣化的模式選擇,每種模式都具有一套*的功能(2、4、13.56、27.12和40.68 MHz;0.3至5 kW;擁有多種用戶界面和輸入選擇),從而使您能夠選擇一套特別適合您應用的組件——而無需定制發(fā)生器所需的漫長交付期。
高質(zhì)量的組件和較少的零件數(shù)量使可靠性和產(chǎn)品生命周期均實現(xiàn)*化,從而使您的投資和制程生產(chǎn)力得到zui大化的利用。一個全面而高度靈敏的操作菜單(可在該組件的多功能前面板上找到,并顯示在一個大的液晶顯示屏上)帶來了的便利性——提高了操作人員的效率,并使培訓成本zui小化。
典型應用:
高密度等離子體化學氣相淀積(HDP CVD)
等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)
刻蝕-RIE/ICP
物理氣相沉積
等離子清洗
優(yōu)點
? 更長的制程正常運行時間
? 更高的操作簡易性和靈活性
? 無需定制組件提前期的定制化性能
? *的使用簡易性,節(jié)省成本
功能
? 精簡的流線型設計
? 標準的平臺包裝
? 高效率——低發(fā)熱量
? 200和400 VAC 的輸入選擇
? 兩個模擬用戶端口選擇
? RS-232、以太網(wǎng)及 Profibus 通訊
? 多功能前面板
? 便利、全面的操作菜單
? CEX(相位同步)操作模式