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NEE-4000(M)電子束蒸發(fā)系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/4/28 9:36:37
  • 訪問次數(shù) 3924

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那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機構(gòu)提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質(zhì)譜儀,包含飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)(PTR)質(zhì)譜儀、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機,PA-MOCVD,飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥

電子束蒸發(fā)技術(shù)

NEE-4000(M)電子束蒸發(fā)系統(tǒng)概述:NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置,其中樣品臺位于主腔體內(nèi),二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預(yù)真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,實現(xiàn)基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時,他可以通過第三方的預(yù)真空鎖來實現(xiàn),這可以設(shè)置于立方體的左側(cè)。通過PC計算機控制,系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。

NEE-4000(M)電子束蒸發(fā)系統(tǒng)特點:

  • 順序蒸發(fā)或共蒸發(fā)
  • 雙電子束源
  • 多凹槽電子槍
  • 可編程電子束掃描
  • 10KW開關(guān)電源
  • 渦輪分子泵,極限真空5x10-7Torr
  • 手動上下載片,帶預(yù)真空鎖
  • 材料和襯墊更換非常方便
  • 晶振式膜厚監(jiān)測儀
  • 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機控制
  • 菜單驅(qū)動,四級訪問密碼保護
  • *的安全聯(lián)鎖

產(chǎn)品型號:

  • NEE-3500:計算機全自動控制的緊湊型獨立系統(tǒng)
  • NEE-4000:計算機全自動控制的獨立系統(tǒng)


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