Q235微波等離子去膠清洗機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 那諾中國(guó)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/4/28 10:00:39
- 訪問(wèn)次數(shù) 2535
產(chǎn)品標(biāo)簽
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ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機(jī)，PA-MOCVD，飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥 |
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微波等離子清洗去膠技術(shù)
Q235微波等離子去膠清洗機(jī)概述：Q系列等離子清洗機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除。
Q235微波等離子去膠清洗機(jī)工藝參數(shù)：
- 材質(zhì)：石英玻璃
- 容積：11公升
- 腔體尺寸：直徑235mm，深度260mm
- 腔體后部：鋁
- 腔門(mén)：鋁質(zhì)材料制作，抽拉式支撐架跟前門(mén)相連，便于手動(dòng)放片；
- 氣體分布：前門(mén)擴(kuò)散
- 觀察視窗：防紫外及微波
- 支撐架：鋁質(zhì)材料，
- 真空連接：DN25 ISO-KF
- 壓力控制：Pirani，1-100Pa
- 真空泵：推薦25m3/h
- 真空閥：電子氣動(dòng)閥，DN25 ISO-KF
- 真空密封：硅樹(shù)脂
- 氣體供應(yīng)：
- 氣體通道：1路數(shù)字MFC，裝有電磁閥，500sccm（N2校準(zhǔn)），1/4" Swagelok接頭
- 卸壓：電磁閥，1/4" Swagelok接頭
- 功率：2.45GHz，50-600W連續(xù)可調(diào)
- 耦合：微波天線，鋁質(zhì)諧振器，腔體內(nèi)無(wú)電極
系統(tǒng)控制：
- PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
- 7”觸摸屏、圖形用戶界面
- Windows Office兼容
- 存儲(chǔ)處理數(shù)據(jù)和錯(cuò)誤信息，處理數(shù)據(jù)輸出
- 工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測(cè)
- 自動(dòng)或手動(dòng)操作
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