2.6 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO 為手動型，配有 PC 和 PCCE 控制系統(tǒng)。

詳情請點擊

產(chǎn)品型號：Zepto

控制系統(tǒng)：手動型

  PCCE控制系統(tǒng) (Microsoft  Windows CE)、PC 控制系統(tǒng) (Microsoft  Windows POS Ready 2009)

體積：1.7~2.6L

   真空腔室：圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子（大約Φ 105 mm, 長 200 mm 或者長 300 mm）

圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子（大約Φ105 mm, 長 200 mm 或者長 300 mm）

電極：單層或多層

樣品支架：鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

氣源：針型閥、質量流量控制器 (MFCs)

壓力計：Pirani

計時器：數(shù)字型

高頻電流發(fā)生器：40 kHz: 功率 0 - 100 W、13.56 MHz: 功率 0 - 50 W

真空泵：KASHIYAMA           

備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務、當?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓。可應要求提供的其他選項。