概述
宇正YZ-1020不銹鋼腔體式多功能微波等離子體裝置由合肥宇正等離子體技術(shù)有限公司研發(fā)生產(chǎn)，技術(shù)*，性能穩(wěn)定。本裝置等離子體產(chǎn)生效率高，樣品處理均勻；樣品裝卸簡捷，操作方便,維護(hù)簡單。該裝置用途廣泛，具有聚合物材料表面刻蝕、清洗、改性、化學(xué)氣相沉積、接枝聚合和引發(fā)接枝聚合反應(yīng)等的能力，可廣泛用于物理、化學(xué)、材料等領(lǐng)域。

宇正YZ-1020不銹鋼腔體式多功能微波等離子體裝置由微波系統(tǒng)、等離子體發(fā)生室、樣品處理室、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和循環(huán)水冷卻系統(tǒng)組成。裝置的主要工作原理是由微波源產(chǎn)生頻率為2450MHz的微波，沿波導(dǎo)管傳輸，zui后在諧振腔的真空室（等離子體反應(yīng)室）內(nèi)激勵氣體形成軸對稱的等離子體球，等離子體球的直徑大小取決于等離子體發(fā)生室中的氣體壓力和微波功率。樣品溫度以微波等離子體的自加熱方式達(dá)到。

該裝置的真空系統(tǒng)采用2XZ-2型旋片真空泵，極限真空6×10－2帕，抽速2升/秒，額定轉(zhuǎn)速1400轉(zhuǎn)/分，機(jī)械泵與真空室之間設(shè)置有電磁閥和高真空隔膜閥，旁路管道設(shè)置另一隔斷閥（高真空微調(diào)閥），以便于真空系統(tǒng)運行安全及工作時反應(yīng)氣體壓強(qiáng)的靈活控制。真空密封采用金屬和橡膠密封，通常相對不動接口采用金屬密封，相對可動接口采用橡膠密封。真空測量采用數(shù)字壓阻式真空計，用來測量反應(yīng)腔內(nèi)的工作氣壓。

技術(shù)指標(biāo)與特性
1） 等離子體發(fā)生室與樣品處理室分開，均為不銹鋼腔體。
2） 樣品處理室ф262（內(nèi)徑）×165（高），左、右側(cè)及前門上各有一個（共3個）ф50觀察窗，樣品裝卸門146（寬）×68（高），內(nèi)有ф120（直徑）水平樣品臺，樣品臺面離樣品處理室底面高度兩級可調(diào)節(jié)27-57-87。                                                    
3） 等離子體發(fā)生室ф144（內(nèi)徑）×96（高）處于樣品處理室之上。
4） 兩路氣體輸入，在等離子體發(fā)生室頂部中心輸入工作氣體，可用氮氣、氧氣、氦氣等常用氣體。                          
5） 微波發(fā)生器由帶有水冷磁控管的激勵腔和微波源供電電源組成。微波頻率2.45GHz。微波功率0－1000W連續(xù)可調(diào)（zui大功率可達(dá)1200W）。帶有微波輸出功率顯示（精確至1W）和反射指示。可長時間連續(xù)工作。
6） 裝置常規(guī)采用380V三相電源。按用戶要求亦可采用220V單相電源。                                         
7） 微波輸出功率顯示（精確至1W）和反射指示。
8） 自帶冷卻水循環(huán)系統(tǒng)形成冷卻水. 制冷系統(tǒng)可保證冷卻水溫度在30度以下, 無水源要求.               
9） 真空度數(shù)字顯示，精確至1Pa。                               
10） 氣體流量在較大范圍可調(diào)并顯示（精確至0.01L/min）。      
11） 無電極放電，避免放電污染，能量轉(zhuǎn)換效率高。