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LCD-70-TEG 面板激光TEG Prober
| 參考價(jià) | ￥ 10000 |
| 訂貨量 | ≥1 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) LCD-70-TEG
- 產(chǎn)地 中國(guó)
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2017/10/25 10:02:19
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 1133
產(chǎn)品標(biāo)簽
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半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備：探針臺(tái)，I-V/C-V參數(shù)測(cè)試儀，網(wǎng)絡(luò)分析儀，激光系統(tǒng)，金相顯微鏡，EMMI微光顯微鏡，X射線(xiàn)，C-SAM超聲波探測(cè)，電子顯微鏡
| 型號(hào) | LCD-70-TEG | LCD-100-TEG | |
| 外形 | 2500mm長(zhǎng)*2000mm寬*2500mm高 | 3800mm長(zhǎng)*2500mm寬*2500mm高 | |
| 重量 | 約9700KG | 約14200KG | |
| 電力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max | ||
| 可測(cè)試液晶屏尺寸 | 長(zhǎng)寬≤1600 * 1100 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 長(zhǎng)寬≤2400 * 1400 mm(W x D) , 厚度≤3mm | |
| 平臺(tái)功能 | Gantry結(jié)構(gòu) | 龍門(mén)式 | |
| X-Y-Z軸運(yùn)動(dòng)行程 | 1600 * 1100 *58mm | 2400 * 1400 *58mm | |
| X-Y運(yùn)動(dòng)速度 | 0~400mm/s可調(diào) | ||
| X-Y精度(zui小移動(dòng)量) | 0.1um | ||
| X-Y重復(fù)定位精度 | ±5um | ||
| X-Y 軸驅(qū)動(dòng) | 直線(xiàn)電機(jī)+光柵尺 | ||
| Z 運(yùn)動(dòng)速度 | 0~2mm/s可調(diào) | ||
| Z精度 | 0.25um | ||
| Z重復(fù)定位精度 | ±1um | ||
| Z軸驅(qū)動(dòng) | 伺服電機(jī)+光柵尺 | ||
| Z軸保護(hù) | 電機(jī)保護(hù)+機(jī)械限位保護(hù) | ||
| 樣品臺(tái)平整度 | 25um平整度 (檢測(cè)方法：顯微鏡等焦面測(cè)試法) | ||
| 樣品臺(tái)涂層 | 防靜電涂層 | ||
| 樣品臺(tái)高低溫 | Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃) | ||
| 光學(xué)特性 | 光路系統(tǒng)倍率： | 5X ,10X ,20X，50X Objects ，放大倍率范圍50X~ 500X | |
| 聚焦 | 自動(dòng)聚焦 | ||
| CCD | 200/500萬(wàn)像素工業(yè)相機(jī) | ||
| 光源 | 面背光、點(diǎn)背光、上光源 | ||
| 光源亮度獨(dú)立可調(diào)，面背光可選擇分區(qū)控制 | |||
| 激光特性 | 激光系統(tǒng) | 激光切割系統(tǒng)（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz) | |
| 0-* | |||
| 激光波長(zhǎng) | 1064nm，532nm，355nm | ||
| 光斑尺度 | 0.8~1.5um @100X object | ||
| 1.0~3.0um @50X object | |||
| 工作模式 | One Shot/Burst/Continue | ||
| 形狀 | 可調(diào)節(jié)的矩形 | ||
| 探針規(guī)格 | 針卡 | 兩套，可同時(shí)測(cè)試兩個(gè)patten | |
| Pitch范圍：定制 | |||
| 探針材質(zhì)：鎢or鈹銅等 | |||
| 工作模式：可以單獨(dú)測(cè)試，或者兩個(gè)針卡一起測(cè)試。兩個(gè)針卡間的相互距離可調(diào)。 | |||
| 探針和TEG對(duì)位方式 | 坐標(biāo)定位 | ||
| 測(cè)試過(guò)程中的二次視覺(jué)自動(dòng)校準(zhǔn) | |||
| 探針和TEG的接觸方式 | 自動(dòng)接觸 | ||
| 探針自動(dòng)保護(hù)功能:機(jī)械限位，可以根據(jù)panel厚度設(shè)定限位高度，也可以按探針接觸樣品測(cè)試Pad時(shí)發(fā)生的形變，設(shè)備通過(guò)探針形變情況，從而確定壓入量。 | |||
| 探針軸旋轉(zhuǎn)行程 | 360° | ||
| 探針旋轉(zhuǎn)精度 | 0.01° | ||
| 旋轉(zhuǎn)重復(fù)定位精度 | 0.03° | ||
| 探針清潔 | 自動(dòng)清潔 | ||
| 清潔后視覺(jué)自動(dòng)判斷 | |||
| 探針臺(tái)漏電精度（安裝針卡的情況） | 100fA 以?xún)?nèi)（測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：給針卡任意針腳加壓-5V~+5V，在不吹N2的情況下，空載測(cè)試漏電流<100fA） | ||
| 吹氮?dú)釴2輔助干燥(Recipe 可以設(shè)置是否開(kāi)啟，且測(cè)試報(bào)告體現(xiàn)開(kāi)N2與不開(kāi)N2區(qū)別) | |||
| 測(cè)試能力 | 測(cè)試系統(tǒng) | 兩套 | |
| 半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng) 2*HRSMU+4*MPSMU+CV 測(cè)試單元等 | |||
| TFT測(cè)試項(xiàng)目 | Ion | ||
| Ioff | |||
| Vth | |||
| Mobility | |||
| Swing | |||
| Resistance測(cè)試項(xiàng)目 | Rs | ||
| Rc | |||
| 其他客戶(hù)需要的項(xiàng)目 | options | ||
| zui大輸送電壓 | +-200V | ||
| zui大輸送電流 | +-1A | ||
| 電流測(cè)試分辨率 | 1fA（無(wú)需前置放大器） | ||
| 電壓測(cè)試分辨率 | 0.5uV | ||
| CV 測(cè)試頻率范圍 | 1kHz~5MHz | ||
| 接地單元電流宿能力 | 4.2A GNDU | ||
| 控制 | 工作模式 | 自動(dòng)測(cè)試，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動(dòng)導(dǎo)入和輸出，聯(lián)機(jī)通訊 | |
| 手動(dòng)或者半自動(dòng)測(cè)試 | |||
| 上下片 | 機(jī)械手或者流水線(xiàn) | ||
| CIM系統(tǒng) | 有 | ||
| 減震 | 主動(dòng)式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫(huà)面不抖動(dòng) | ||
| 工業(yè)PC | 23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤(pán)2塊(其中一塊為備份硬盤(pán))，8G內(nèi)存，1G獨(dú)立顯卡，DVD-ROM | ||
| 通訊接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 | ||
| 安全 | 整機(jī)帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作 | ||
| 緊急開(kāi)關(guān)EMO | |||
| 限位sensor，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和探針系統(tǒng)限位互鎖 | |||
| Interlock報(bào)警，自動(dòng)關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選) | |||
| 應(yīng)用 | TFT-LCD Panel TEG 探針測(cè)試，OLED Panel TEG探針測(cè)試 | ||
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