LCVD-G4.5 LCVD 激光修復機
| 參考價 | ￥ 10000 |
| 訂貨量 | ≥1 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 深圳市森美協爾科技有限公司
- 品牌
- 型號 LCVD-G4.5
- 產地 中國
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2017/10/12 11:09:56
- 訪問次數 508
產品標簽
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| 型號 | LCVD-G4.5 | LCVD-G8.5 | |
| 外形 | 2,500mm（寬） x2,000mm（長） x 2,500 mm (高 ) | 4,000mm（寬） x3,500mm（長） x 2,500 mm (高 ) | |
| 重量 | 6.5噸左右 | 10.5噸左右 | |
| 電力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 40A Max | 380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max | |
| 修復能力 | 可修復產品尺寸 | 長寬≤920 * 730 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 長寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm |
| 沉積材質 | W,Cr,Mo,Al | ||
| 沉積線路速度 | 5~10um/s(厚度5000 ?) | ||
| 單處缺陷修復時長 | 定位后，修復單處缺陷時間在5s左右 | ||
| 工藝參數 | 軟件可以添加任意組工藝參數 | ||
| Cutting寬度 | 2um到50um可調 | ||
| 沉積寬度 | 3um到30um可調 | ||
| 沉積邊緣精度 | +-0.5um | ||
| 沉積厚度 | 2000 ? ~15000?可調 | ||
| 沉積線路的電阻值 | <65歐姆 (寬度5um, 長度50um,厚度5000 ?) | ||
| 沉積穩(wěn)定性 | 1.清洗機清洗次數>10 times | ||
| 2.棉簽蘸丙酮擦拭>500次 | |||
| 3.強酸堿測試>1H | |||
| 3.毛刷擦拭>1H | |||
| 4.超聲波1MHZ>1H | |||
| 平臺功能 | Gantry結構 | 龍門式 | |
| X-Y-Z運動行程 | 920 *730*58mm(X-Y-Z) | 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) | |
| X-Y運動速度 | 0~200mm/s可調 | ||
| 精度(zui小移動量) | 0.1um | ||
| Z 運動速度 | 0~2mm/s可調 | ||
| 精度(zui小移動量) | 0.1um | ||
| 重復定位精度 | +-5um | ||
| 修復對位精度 | 0.1um | ||
| 減震 | 主動式減震系統(tǒng)，能夠實現50X 物鏡下畫面不抖動 | ||
| 照明 | 平臺有下光源，并且能夠上下光源切換，屏蔽罩內安裝照明，照度達到1000lux以上。 | ||
| 光學特性 | 光路系統(tǒng)倍率： | 50X~ 1000X | |
| 5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects | |||
| 光學分辨率 | 0.7um | ||
| 物鏡切換速度 | 0.2~0.7s | ||
| 切換鏡頭偏差 | 小于3um | ||
| 聚焦 | 激光自動聚焦 | ||
| 相機 | 200萬像素 | ||
| 激光特性 | 激光系統(tǒng) | DPSS激光切割系統(tǒng) | |
| CW激光沉積系統(tǒng) | |||
| 能量調節(jié)精度 | 0-1000 steps | ||
| 0-* | |||
| Slit 窗口調節(jié)大小 | 0~2.4mm | ||
| slit 窗口控制精度 | 1um | ||
| 激光能量校準方式 | 自動校準 | ||
| 校準時間 | 3mins | ||
| 激光能量校準精度 | 優(yōu)于2% | ||
| 激光波長 | Cut Laser :IR 1064nm，GRN 532nm，UV 266nm | ||
| CVD CW laser :NUV 351nm | |||
| 脈寬 | < 12 ns | ||
| 光斑尺度 | 2.0~ @50X object 1064nm (在標準mask上測試) | ||
| 掃描面能量均勻性 | 優(yōu)于5% IR | ||
| 激光壽命 | Cut Laser:10億次激發(fā) | ||
| CVD CW laser: 8000小時 | |||
| 修復工作模式 | Scan掃描式和 Step模式 | ||
| 掃描路徑 | 可任意定義路徑 | ||
| 控制 | 工作模式 | 自動修復，實現數據的自動導入和輸出，聯機通訊 | |
| 手動或者半自動修復 | |||
| 上下片 | 機械手或者流水線 | ||
| CIM系統(tǒng) | 有 | ||
| 減震 | 主動式減震系統(tǒng)，能夠實現50X 物鏡下畫面不抖動 | ||
| 工業(yè)PC | 23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊(其中一塊為備份硬盤)，8G內存，1G獨立顯卡，DVD-ROM | ||
| 通訊接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 | ||
| 安全 | 整機帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作 | ||
| 緊急開關EMO | |||
| 限位sensor，運動平臺和激光系統(tǒng)限位互鎖 | |||
| Interlock報警，自動關閉系統(tǒng)(軟件設置為可選) | |||
| 應用 | TFT-LCD 和 OLED Panel 布線開路和短路的修復,Mask 的缺陷修復 | ||
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