ICP-MS質(zhì)譜儀是電感藕合等離子體質(zhì)譜，它是一種將ICP技術(shù)和質(zhì)譜結(jié)合在一起的分析儀器。ICP利用在電感線圈上施加的強(qiáng)大功率的高頻射頻信號(hào)在線圈內(nèi)部形成高溫等離子體，并通過(guò)氣體的推動(dòng)，保證了等離子體的平衡和持續(xù)電離，在ICP－MS中，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數(shù)樣品中的元素都電離出一個(gè)電子而形成了一價(jià)正離子。質(zhì)譜是一個(gè)質(zhì)量篩選和分析器，通過(guò)選擇不同質(zhì)核比（m/z）的離子通過(guò)來(lái)檢測(cè)到某個(gè)離子的強(qiáng)度，進(jìn)而分析計(jì)算出某種元素的強(qiáng)度。

ICP-MS質(zhì)譜儀特點(diǎn)：
(1)多元素測(cè)量：可對(duì)多于7O種的元素(從Li到U)進(jìn)行微量和痕量分析，檢測(cè)范圍從小于1 ppt到大于500 ppm，可達(dá)9個(gè)量級(jí)。
(2)光譜簡(jiǎn)單：每一種元素(In除外)，均有一種同位素的譜線不受其他元素的譜線干擾。所以，在多元素測(cè)定時(shí)干擾少，此外，樣品中的有機(jī)相干擾小，可以測(cè)量有機(jī)相中的元素。
(3)靈敏度高：樣品量少，試劑用量少。
(4)速度快：通常的分析時(shí)間1～5 min(含清洗1～2rain).
(5)應(yīng)用靈活：自動(dòng)設(shè)置并自動(dòng)優(yōu)化測(cè)量條件。
(6)快速半定量分析：定量標(biāo)定少量元素之后，儀器可以根據(jù)同位素的相對(duì)靈敏度測(cè)定全部元素的含量，這種方法在進(jìn)行元素篩選的時(shí)候十分有用。
(7)同位素測(cè)定：可進(jìn)行穩(wěn)定同位素或放射性同位素的比值分析。
應(yīng)用領(lǐng)域：
(1)環(huán)境分析：土壤、水質(zhì)、空氣(包括大氣采樣)的污染程度及污染源項(xiàng)分析。
(2)臨床醫(yī)學(xué)：生物樣品中微量元素和有毒重金屬分析，如血液和尿液(樣品量?jī)H需要0．2～0．5 m1)，已開(kāi)展了職業(yè)病普查和兒童尿鉛普查等工作。
(3)藥學(xué)：藥物的質(zhì)量控制。
(4)食品及化妝品的安全性評(píng)價(jià)：微量元素和有毒重金屬元素分析。
(5)核醫(yī)學(xué)：同位素分析。
(6)電子工業(yè)：痕量金屬元素分析。
(7)地球科學(xué)：同位素比值及元素構(gòu)成分析，包括稀土元素分析。
(8)其他科學(xué)研究。