巴魯夫成型外殼內(nèi)的磁致伸縮位移傳感器

（1）*將直線電機加氣浮導(dǎo)軌的驅(qū)動方式應(yīng)用于位移傳感器自動化校準。相對于傳統(tǒng)的機械驅(qū)動方式，直線電機不僅能夠直接讓運動部件作直線運動，簡化了設(shè)備結(jié)構(gòu)，不需要中間轉(zhuǎn)換過程，其動態(tài)響應(yīng)性能和重復(fù)定位精度都大大提高，通過和氣浮導(dǎo)軌配合可使得校準過程穩(wěn)定性好。

（2）將標準與被校傳感器置于氣浮導(dǎo)軌兩端，傳感器牽引端與氣吸附滑塊上的運動端通過轉(zhuǎn)接裝置相連，激光干涉儀的反射鏡同樣置于滑塊上，校準時通過夾具調(diào)節(jié)使位移傳感器運動方向與激光干涉儀測量方向在同一條直線上，實現(xiàn)阿貝誤差的消除。

（3）基于磁致伸縮測桿式傳感器校準設(shè)計夾具，配合支撐點消除變形的校準方式，解決了該類傳感器校準過程中存在的撓度問題。后，通過對位移傳感器校準裝置不確定度的評定和驗證，表明該校準方法準確、有效、可行。

巴魯夫成型外殼內(nèi)的磁致伸縮位移傳感器

主營德國進口備件:巴魯夫BALLUFF

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