日立新型熱場發(fā)射SU5000掃描電鏡繼承了日立半導(dǎo)體行業(yè)掃描電鏡CD-SEM高穩(wěn)定性和易操作的特點(diǎn)，不僅具有強(qiáng)大的觀察分析能力，同時具有全新的操作體驗。SU5000既滿足了專業(yè)電鏡操作者對高分辨觀察和分析的需求，也滿足了電鏡初學(xué)者對高質(zhì)量圖片的需求，是一臺操作簡便且功能強(qiáng)大的掃描電鏡。

日立新型熱場發(fā)射SU5000掃描電鏡主要特點(diǎn)：

?　高穩(wěn)定性熱場發(fā)射電子槍

?　全新的EM Wizard軟件，無需設(shè)置參數(shù)即可獲得高質(zhì)量圖片

?　高分辨率和強(qiáng)大的分析能力

?　樣品適用性強(qiáng)：不導(dǎo)電樣品直接觀察（低真空功能，10-300Pa）

?　全新的multi-finder功能，方便快捷的尋找樣品

?　附件功能強(qiáng)大：拉伸臺，冷熱臺，電子束曝光，紅外CCD，離子束清潔系統(tǒng)等。