日立Regulus8100冷場發(fā)射掃描電鏡是日立冷場發(fā)射掃描電鏡的全新系列，Regulus8100保留了SU8010易維護(hù)、易操作等優(yōu)點(diǎn)，進(jìn)一步提高性能，1kV減速模式下高分辨率達(dá)到了0.8nm，15kV達(dá)到0.7nm，高低電壓均可滿足高分辨的觀察。

日立Regulus8100冷場發(fā)射掃描電鏡主要特點(diǎn)：
1. 配備加速電壓減速功能，優(yōu)秀的低加速電壓成像能力，1kV分辨率可             達(dá)0.8nm
2. 日立E×B技術(shù)，無需噴鍍，可直接觀測不導(dǎo)電樣品
3. 配備電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能
4. SE與BSE任意比例搭配功能

樣品：AlTiC基板
加速電壓：1kV
倍率：2萬倍

應(yīng)用領(lǐng)域：
1、  納米材料；
2、  半導(dǎo)體器件；
3、  高分子材料；
4、  生物醫(yī)學(xué)；
5、  新能源。