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FR-Basic FR-Basic VIS/NIR紫外高分辨率膜厚儀

具體成交價以合同協(xié)議為準

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工業(yè)和實驗室設備供應集團:

  邁可諾公司全稱邁可諾技術有限公司,英文簡稱MYCRO。這是一家富有創(chuàng)新精神的化高科技公司,專業(yè)提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,公司網址為http://www.mycro.com.cn 。

  作為工業(yè)實驗室市場領域的,邁可諾從事開發(fā)、設計、生產并營銷質量可靠的、安全易用的技術產品及優(yōu)質專業(yè)的服務,幫助客戶和合作伙伴取得成功。

  邁可諾成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。

勻膠機,等離子清洗機,光刻機,折射率匹配液,顯微鏡浸鏡油,液壓機,熱壓機,加熱臺,顯影機,濕法腐蝕機,

價格區(qū)間 5萬-10萬 應用領域 電子/電池
FR-Basic VIS/NIR基礎型膜厚儀(紫外/近紅外-高分辨率)光譜范圍:350-1000nm
Α)鹵鎢光源系統(tǒng)Tungsten Halogen light source 全軟件控制的光譜范圍和輻照強度。
小型光譜儀光譜范圍(350nm-1000nm),分辨精度可達3648像素, 16位級 A/D 分辨精度;配有USB通訊接口;
光學連接器SMA 905, 光譜儀功率:110VAC/230VAC – 60Hz/50Hz.
10mm厚度的氧化鋁面板,每英寸(25mm)間距,配有M6 (or ¼”) 口徑鉆孔,用以安裝光學部件。
樣品放置臺,配有多點Z軸聚焦和X-Y軸移動調節(jié)。反射探針夾具調節(jié)范圍 (200mm – 200mm – 60mm),可在測試區(qū)域內精準調節(jié)。
Β) FR-Monitor膜厚測試軟件系統(tǒng),
可精確計算如下參數(shù):
1)單一或堆積膜層的厚度;
2)靜態(tài)或動態(tài)模式下,單一膜層的折射率;本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫,可以有效地協(xié)助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率,透射率和反射率的測量,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用*,即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結果分析使用。
C) 參考樣片:
a) 經校準過的反射標準硅片;
b) 經校準過的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片;
c) 經校準過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片;
D) 反射光學探針
系統(tǒng)內嵌6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm


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