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FR-portable 便攜式光學膜厚儀

具體成交價以合同協(xié)議為準

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工業(yè)和實驗室設備供應集團:

  邁可諾公司全稱邁可諾技術有限公司,英文簡稱MYCRO。這是一家富有創(chuàng)新精神的化高科技公司,專業(yè)提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,公司網址為http://www.mycro.com.cn 。

  作為工業(yè)實驗室市場領域的,邁可諾從事開發(fā)、設計、生產并營銷質量可靠的、安全易用的技術產品及優(yōu)質專業(yè)的服務,幫助客戶和合作伙伴取得成功。

  邁可諾成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實現高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。

勻膠機,等離子清洗機,光刻機,折射率匹配液,顯微鏡浸鏡油,液壓機,熱壓機,加熱臺,顯影機,濕法腐蝕機,

價格區(qū)間 5萬-10萬 應用領域 電子/電池

FR-portable 便攜式膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成:

Α白熾-LED混合集成式光源系統(tǒng),通過內嵌式微處理器控制,使用壽命超過20000小時。

小型光譜儀,光譜范圍370nm –1050nm,分辨精度可達3648像素, 16位級 A/D 分辨精度;配有USB通訊接口;

Β)   FR-Monitor膜厚測試軟件系統(tǒng),

可精確計算如下參數:

1)單一或堆積膜層的厚度;

2)靜態(tài)或動態(tài)模式下,單一膜層的折射率;本軟件包含了類型豐富的材料折射率數據庫,可以有效地協(xié)助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率,透射率和反射率的測量,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用*,即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結果分析使用。

C)   參考樣片:

a)   經校準過的反射標準硅片;

b)   經校準過的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片;

c)   經校準過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片;

D)   反射探針臺和樣片夾具

可處理的樣品尺寸達200mm, 包含不規(guī)則的尺寸等;

手動調節(jié)可測量高度可達50mm;

可針對更大尺寸訂制樣片夾具;

Ε)   反射率測量的光學探針

內嵌系統(tǒng)6透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm;


 



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