Park Systems推出革命性的NX-3DM全自動原子力顯微鏡系統(tǒng)，專為垂懸輪廓、高分辨率側(cè)壁成像和臨界角測量設(shè)計。借助*的XY軸和Z軸獨(dú)立掃描系統(tǒng)和傾斜式Z軸掃描器，NX-3DM成功克服精確側(cè)壁分析中的法向和喇叭形頭所帶來的挑戰(zhàn)。在True Non-Contact™模式下，NX-3DM可實(shí)現(xiàn)帶有高長寬比*的柔軟光刻膠的無損測量。

*的精確度

Park systems NX-3DM 自動化原子力顯微鏡?隨著半導(dǎo)體越變越小，設(shè)計如今需要做到納米級，但是傳統(tǒng)的測量工具無法滿足納米級設(shè)計和制造所要求的精確度。面對這一行業(yè)測量挑戰(zhàn)，Park Systems取得眾多技術(shù)突破，如串?dāng)_消除，其可以實(shí)現(xiàn)無偽影和無損成像；全新的3D原子力顯微鏡，讓側(cè)壁和側(cè)凹特征的高分辨率成像成為可能。

 *的通量

Park systems NX-3DM 自動化原子力顯微鏡?受限于低通量，納米級設(shè)計無法用于生產(chǎn)質(zhì)量控制中，但原子力顯微鏡讓這一切成為可能。隨著Park Systems發(fā)布革命性的高通量解決方案，原子力顯微鏡也得以進(jìn)入自動化線上制造領(lǐng)域。這其中包括創(chuàng)新的磁性探針更換功能，成功率高達(dá)99%，高于傳統(tǒng)的真空技術(shù)。此外，流程和通量優(yōu)化需要客戶積極配合，提供完整的原始數(shù)據(jù)。

 *成本效益

納米測量的精確性和高通量需要搭配高成本效益的解決方案，才能夠從研究領(lǐng)域擴(kuò)展到實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中。面對這一成本挑戰(zhàn)，Park Systems帶來了工業(yè)級的原子力顯微鏡解決方案，讓自動化測量更快、更高效，讓探針更耐久！我們放棄了慢速又昂貴的掃描電子顯微鏡，轉(zhuǎn)而采用高效、自動化且價格實(shí)惠的3D原子力顯微鏡，進(jìn)一步降低線上工業(yè)制造的測量成本?，F(xiàn)如今，制造商需要3D信息來表現(xiàn)溝槽輪廓和側(cè)壁變異特征，從而準(zhǔn)確找到新設(shè)計中的缺陷。模塊化原子力顯微鏡平臺實(shí)現(xiàn)快速的軟硬件更換，從而是升級更劃算，不斷優(yōu)化復(fù)雜且苛刻的生產(chǎn)質(zhì)量控制測量。此外，我們的原子力顯微鏡探針使用壽命延長至少2倍，進(jìn)一步減少購置成本。傳統(tǒng)的原子力顯微鏡采用輕敲式掃描，這讓探針更易磨損，但我們的True Non-Contact™模式能夠有效地保護(hù)探針，延長其使用壽命。