2035/2050/2075/2100 光刻膠SU-8 2000
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) 2035/2050/2075/2100
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/7/1 20:53:38
- 訪問次數(shù) 2756
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勻膠機(jī)，光刻機(jī)，顯影機(jī)，等離子清洗機(jī)，紫外臭氧清洗機(jī)，紫外固化箱，壓片機(jī)，等離子去膠機(jī)，刻蝕機(jī)，加熱板
| 供貨周期 | 一個(gè)月 | 規(guī)格 | 100ML/250ML/500ML/1L |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 | 主要用途 | 改善涂層性能,更快干燥以提高產(chǎn)量,垂直側(cè)壁 |
為了獲得大的過程可靠性，在涂覆SU-8 2000抗蝕劑之前，基材應(yīng)清潔干燥。 為了獲得很好的結(jié)果，應(yīng)使用食人魚濕法蝕刻（使用H2SO4和H2O2）清潔基材，然后用去離子水沖洗。
基材也可以使用反應(yīng)離子蝕刻進(jìn)行清潔
（RIE）或任何裝有氧氣的桶式灰燼。 通常不需要粘合促進(jìn)劑。 對(duì)于包括電鍍的應(yīng)用，建議使用MCC Primer 80/20（HMDS）對(duì)基材進(jìn)行預(yù)處理。
涂層
SU-8 2000抗蝕劑有十二種標(biāo)準(zhǔn)粘度。 本加工指南文件涉及四種產(chǎn)品：SU-8 2025，SU-8 2035，SU-8 2050和SU-82075。圖1。
提供選擇合適的SU-8 2000抗蝕劑和旋轉(zhuǎn)條件以實(shí)現(xiàn)所需膜厚所需的信息。
推薦節(jié)目
1.）為基板直徑的每英寸（25毫米）分配1ml的抗蝕劑。
2.）以100 rpm /秒的加速度在500 rpm下旋轉(zhuǎn)5-10秒。
3.）以300 rpm /秒的速度在2000 rpm下旋轉(zhuǎn)30秒。
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