愛(ài)發(fā)科VSN1501真空泵維修：

針對(duì)真空泵腐蝕的修復(fù)方法：

*清除表面氧化層，用丙酮將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護(hù)，專(zhuān)業(yè)

的安裝方式完工。

愛(ài)發(fā)科NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮

短非氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

愛(ài)發(fā)科真空泵NRL180A特點(diǎn)：

低噪音、低振動(dòng)、*的耐腐蝕性。

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對(duì)府蝕性氣體排氣時(shí)泵

體內(nèi)部的腐蝕程度。

隨泵配送選購(gòu)件：

可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開(kāi)關(guān)、氮?dú)饬髁块_(kāi)關(guān)、泵溫傳感器。

適用于行業(yè)：

活性氣體（CVD/刻蝕等）

排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）

用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單品爐等）

可用前級(jí)泵使用（渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵）

冷凍干燥等水蒸氣排氣。

愛(ài)發(fā)科VSN1501真空泵維修：

真空泵維修流程安排：

*、初步了解真空泵現(xiàn)狀

服務(wù)：如有需要，會(huì)在24小時(shí)內(nèi)派出專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員趕赴現(xiàn)場(chǎng)確認(rèn)真空泵故障。

第二、確定真空泵故障原因

服務(wù)：真空泵確認(rèn)了解故障原因后，擬定出具體維修方案與周期、甲乙雙方簽定協(xié)議

后，珠三角地區(qū)甲方安

排人員上門(mén)提泵，其他區(qū)域客戶(hù)可以選擇物理快遞。

第三、真空泵拆開(kāi)報(bào)價(jià)

服務(wù)：為了讓客戶(hù)更清晰的知道維修費(fèi)用，比其爾會(huì)給出詳細(xì)的維修清單及費(fèi)用明細(xì)

第四、確認(rèn)真空泵維修

服務(wù)：客戶(hù)同意維修費(fèi)用后開(kāi)始維修，維修后所換配件全部還客戶(hù)。

第五、真空泵維修完畢后試機(jī)，一般測(cè)試時(shí)間是24小時(shí)。

服務(wù)：確保維修過(guò)后達(dá)到的真空度和穩(wěn)定性能，真空度達(dá)到出廠(chǎng)標(biāo)準(zhǔn)。

第六、配送真空泵上門(mén)安裝調(diào)試

服務(wù)：在試機(jī)OK后24小時(shí)內(nèi)，客戶(hù)可當(dāng)初驗(yàn)收真空泵，看試機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)效果。

第七、統(tǒng)一質(zhì)保修六個(gè)月，定期回訪(fǎng)、并提供免費(fèi)技術(shù)支持。